等离子去胶机去除PMMA电子束胶后表面粗糙度上升如何解决？

深圳市方瑞科技有限公司2026-07-23

PMMA在氧等离子体中可能被过度刻蚀导致表面粗糙。方瑞科技采用“终点精细控制”：设备通过光学发射光谱实时监测CO特征谱线，当谱线强度下降90%时自动停止去胶，避免过刻蚀。同时采用低功率和氩气稀释，减少物理轰击。去胶后表面粗糙度Ra<0.3nm。

本回答由 深圳市方瑞科技有限公司 提供

深圳市方瑞科技有限公司

简介：专注于等离子设备的研发、生产和销售，服务于半导体、汽车、电子等多个行业，产品远销全球。

简介：专注于等离子设备的研发、生产和销售，服务于半导体、汽车、电子等多个行业，产品远销全球。

类似问题

企业信息

深圳市方瑞科技有限公司

联系人：焦金萍

手机： 15219492755

地址：

广东省深圳市宝安区马田街道合水口社区第七工业区第三栋厂房A401