深圳力策科技有限公司2026-07-23
长春光机所与中国科学院半导体所合作开发的双层硅基OPA采用三维集成策略,将复杂波导布线和相位控制系统置于下层,二维纳米天线阵列置于上层,天线间距缩小至5微米,有效抑制了栅瓣。
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