等离子去胶机去除BCB后表面出现波纹状是什么原因？

深圳市方瑞科技有限公司2026-07-11

波纹状通常是BCB刻蚀速率不均匀或局部过热导致BCB熔融再固化。方瑞科技采用O₂/CF₄混合气体，配合脉冲射频和背氦冷却，将晶圆温度控制在60℃以内。设备还配备终点检测，去胶完成后立即停止，防止过刻蚀。处理后BCB去除干净，表面平整，AFM粗糙度<0.5nm。方瑞科技提供BCB去胶工艺开发。

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简介：专注于等离子设备的研发、生产和销售，服务于半导体、汽车、电子等多个行业，产品远销全球。

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