手动对准仪（MNA/MFA）的操作是否容易损伤晶圆？

科睿設備有限公司2026-05-19

完全不用担心。科睿设备有限公司提供的EMU的手动对准仪（如MNA200、MFA150）在设计之初就将“简单、直接”作为理念。它们通常通过一个旋钮或手柄来驱动晶圆旋转，操作非常直观。同时，设备在晶圆和所有接触点的材料选择上非常考究，采用清洁、无污染的有机材料，并结合精密的机械结构，确保在手动操作过程中不会对晶圆造成划伤或引入额外的颗粒污染，晶圆安全有充分保障。

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