什么是晶圆对准仪？

科睿設備有限公司2026-05-19

晶圆对准仪是一种用于在工艺开始前，将晶圆的切口（Notch）或平边（Flat）准确到预设角度的设备。在光刻、薄膜沉积等关键工艺中，晶圆必须保持一致的取向才能确保图案的准确叠加和工艺的均匀性。EMU Technologies提供的自动或手动对准仪，采用清洁概念设计，能有效防止静电放电（ESD）损伤，确保晶圆在安全、低颗粒污染的环境下完成精细对准，是提高批次间工艺一致性的基础设备。

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