SPPE的“无真空”末端执行器有什么优势？

科睿設備有限公司2026-05-20

科睿设备有限公司提供的SPPE采用的“无真空”末端执行器是其主要技术优势之一。与传统的真空吸盘不同，它不依赖真空吸附晶圆背面，而是通过机械方式轻巧地支撑晶圆边缘。这种设计带来了多个好处：1）避免了真空吸附可能对晶圆背面造成的污染或损伤；2）无需复杂的真空管路和控制系统，简化了设备结构；3）对于背面有图形、电路或薄膜的晶圆（如MEMS、Taiko晶圆）尤其友好，处理更安全。

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