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AWT/MWT设备能否实现晶圆翻转功能？

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科睿設備有限公司2026-05-20

可以的。科睿设备有限公司提供的EMU的AWT和MWT系列传输设备支持通过“倒置片盒装载”的方式实现批量晶圆翻转。具体操作是，将一个空的片盒倒置放置在设备上，然后将源片盒中的晶圆通过传输臂推入这个倒置的片盒中。由于片盒是倒置的，晶圆在进入时其正面和背面方向就完成了翻转。这是一个非常巧妙且高效的设计，无需复杂的机械翻转机构。

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