青海进口罗茨真空泵

ZJP系列罗茨真空泵是ZJ型罗茨泵的派生产品，其特点是在进、排气口之间设有一个旁通通道，并垂直安装了一个重力阀（溢流阀）。当进、排气口压差超过设定值时，阀头自动顶开，使气体在泵内部循环。这一设计比较大的优点是实现了过载自动保护，允许泵在较高压差下启动或工作，有效防止电机过载和泵体过热损坏。但对于大容积系统，在大气压下直接启动ZJP泵可能因阀门长时间开启而导致有效抽速降低，经济性不佳，因此建议待前级泵将系统抽至一定压力后再启动。罗茨真空泵在晶振、MEMS器件和混合集成电路的真空封装工艺中承担抽气任务。青海进口罗茨真空泵

罗茨真空泵的抽速参数应满足规定时间内达到目标真空度的要求。青海进口罗茨真空泵

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