根据转子型线的不同，螺杆真空泵可分为单头型线和多头型线两大类。单头型线在一个导程内只完成一次吸气、压缩、排气循环，适用于中小抽速的螺杆泵，是目前市场上的主流类型。单头型线根据螺距变化又可细分为等螺距和变螺距两种。多头型线在一个导程内即可完成多个工作循环，导程少、结构紧凑，适用于大抽速领域，但其型线复杂，需专门的刀具和机床加工，成本较高，且因泄漏三角形因素，极限真空度相对较低，因此市场应用较少。转子型线的设计直接决定了螺杆泵的容积效率、泄漏特性和加工难度，渐开线型线因其加工精度易于保证且啮合性能优良而被大范围采用。 螺杆泵停机后需清洁内部残留气体。东北螺杆真空泵在真空蒸馏中的应用螺杆真空泵的...

螺杆真空泵的性能在很大程度上取决于泄漏的控制。由于转子间、转子与泵壳间存在微小间隙，气体在压缩过程中会通过泄漏通道从高压侧返流至低压侧，导致抽气效率下降。主要的泄漏通道包括：转子啮合间隙、齿顶间隙、端面间隙等。泄漏间隙的大小直接影响泵的极限真空度和抽速：间隙越大，泄漏量越大，极限真空度越低。西安交通大学的数值模拟研究表明，通过建立泄漏通道模型和求解能量守恒、质量守恒方程，可以准确预测泄漏对泵性能的影响。现代螺杆泵的转子间隙通常控制在0.1-0.3毫米范围内，既保证无接触运转，又比较大限度减少泄漏。对于含粉尘的工况，适当放大间隙可防止颗粒卡滞，此时可通过增加转速或优化型线来补偿泄漏损失。配备 P...

螺杆真空泵非常突出的优势在于其工作腔内无需任何润滑油或密封液，可实现完全无油的清洁真空。这一特性源于转子间、转子与泵壳间均保持微小间隙且无机械接触，无需依靠油膜进行密封和润滑。与传统油封式真空泵相比，螺杆泵彻底杜绝了油蒸气的返流污染，确保了被抽真空系统的纯净度。在半导体芯片制造、制药真空蒸馏、精细化工合成等对洁净度要求严苛的工艺中，这一优势尤为突出。同时，无油设计也使得被抽气体可以直接排出泵体而不污染冷却水，无环保压力，气体回收更便捷。对于化工生产中常见的溶剂回收工艺，采用无油螺杆泵可获得纯净的回收溶剂，创造附加经济效益。 12 英寸晶圆生产线常用进口螺杆泵。防爆螺杆真空泵工作原理动画螺杆...

螺杆转子的结构设计是决定泵性能的关键，其发展经历了从等螺距到变螺距，再到变截面（锥形）的演变。等螺距螺杆结构简单，但排气反冲大、能耗与温升较高。变螺距螺杆（包括一段式、两段式、三段式）通过逐渐减小的螺距在泵内实现气体压缩，可降低排气反冲和功耗约30%，排气温度也更低，但对加工精度要求高。变截面锥形螺杆的齿顶圆半径从吸气端到排气端逐渐减小，齿根圆半径增大，通过径向变化实现内压缩。它在保持高压缩比的同时，避免了变螺距转子排气端齿顶过薄导致的易热变形问题，具有更优的热力学性能和更低的功率损耗，是当前前沿的研究方向。国产螺杆泵价格比进口低 30%-50%。广东马德宝螺杆真空泵卡死怎么办 在火力发电及...

马德宝真空设备集团有限公司成立于1992年，是国内较早深耕工业真空设备技术的国家高新技术企业。集团总部位于浙江台州，拥有百余名员工及数十人的高级工程师研发团队。在螺杆真空泵的重要制造环节，马德宝引进了国内排名前列的德国数控螺杆转子加工中心，实现了转子的一次加工成型，确保了微米级的型线精度。同时，公司配备了三坐标测量仪、高精度动平衡机等120多台先进检测与加工设备，构建了从铸件到成品的全流程自主品控体系。依托强大的硬件实力与三十余年的行业经验沉淀，马德宝螺杆真空泵在极限真空度、运行稳定性及耐工况能力上均达到了国内先进水平，年产值破亿，产品广泛应用于国家重点工业领域。 螺杆泵可处理含有机溶剂的...

螺杆真空泵相较于传统的旋片式或水环式真空泵，具有多项性能优势。首先，其工作腔内无任何润滑油，属于典型的干式真空泵，能够有效避免油污染对生产工艺及被抽容器的影响，同时也免去了复杂的废油处理工序。其次，螺杆泵对环境温度与抽取介质的类属具有较宽的适应范围，能够在较高的排气压力下维持稳定的抽速。由于内部结构坚固且无阀门等易损件，其运行可靠性极高，平均无故障运行时间（MTBF）较长。此外，螺杆真空泵在抽除含有大量水蒸气或微量粉尘的气体时表现出较强的耐受力，通过合理的结构设计可有效防止颗粒堆积与介质凝结。在多级螺杆设计中，气体在泵腔内的压缩过程是温和且连续的，这降低了排气时的脉冲幅度，有利于后端排气处...

在粉末冶金，特别是金属注射成型（MIM）和陶瓷注射成型（CIM）工艺中，脱脂是决定产品**终品质与合格率的瓶颈环节。此阶段，成型坯体中的大量有机粘结剂（如蜡、聚合物）被加热挥发，产生成分复杂、易冷凝的烃类蒸汽。传统油封式真空泵极易被这些蒸汽污染，导致真空油乳化、性能骤降、维护频繁，更严重的是，油蒸汽反扩散会污染炉膛和产品，造成产品含碳量超标、表面起泡或强度不足。马德宝专为此工况推出的干式螺杆真空泵，凭借其全无油的设计理念，彻底根除了油污染源。泵腔内部螺杆之间、螺杆与壳体间均保持精密非接触运行，确保挥发性气体直接排出。同时，可配备集成式冷凝器与智能氮气吹扫功能，在气体进入泵腔前冷凝捕集大部分可凝...

在现代工业车间对职业健康与环保要求日益严格的背景下，马德宝螺杆真空泵展现出了优异的环保与低噪属性。由于摒弃了传统的油封与水封结构，设备在运行中杜绝了油烟排放与冷却水消耗量，符合当下“双碳”战略下的绿色工厂评审标准。集团在降噪方面进行了深度优化：一方面对所有转子组件进行G1级高精度动平衡校正，另一方面在排气口集成了专门的阻抗复合式消声器。这使得整机运行时的振动幅度极小，噪音分贝远低于同类竞品，为操作人员创造了更为舒适、安全的工作环境。 干式螺杆真空泵转子与泵腔、转子间间隙为 0.1-0.5mm，属非接触型干式泵，无机械摩擦。陕西干式螺杆真空泵口碑推荐 根据转子型线的不同，螺杆真空泵可分为单...

螺杆转子的端面型线（截面齿形）直接关系到泵的密封性、抽气效率和极限真空。早期多头转子因泄漏三角区大已较少使用。目前主流是单头转子型线，由圆弧（作为齿顶/齿根圆）和具有自啮合特性的过渡曲线（如渐开线、摆线）组成。常见的型线包括渐开线型、摆线型等。优化研究致力于消除型线上的尖点，形成连续光滑的空间接触线，以减少级间泄漏。例如，采用圆弧-摆线等距曲线、偏心渐开线、正弦螺旋线或椭圆弧等新型线，旨在提高啮合的连续性与密封性，从而提升抽速和极限真空度。型线设计需在理论性能与加工可行性之间取得平衡。干式螺杆真空泵传动系统多为 “电机 - 联轴器 - 转子” 直联，效率≥95%。福建螺杆真空泵哪个品牌好与其它...

为应对化工、制药等行业中腐蚀性、聚合性工艺气体的挑战，延长泵的使用寿命，常在螺杆转子和泵腔表面施加特种涂层。常见涂层包括：PTFE（聚四氟乙烯）涂层，耐化学性好但耐磨性较差；PFA（可熔性氟树脂）涂层，耐化学性与耐温性优于PTFE；NIFA涂层，底层为化学镀镍，表层为PFA，即使表层磨损，底层仍能提供保护，耐机械划伤能力强；PEEK（聚醚醚酮）涂层，具有优异的耐磨和耐高温性能；以及Hastelloy C 合金涂层，具备极强的耐腐蚀和耐磨性，但成本比较高。涂层选择需根据介质的腐蚀性、磨损性以及工艺温度综合决定，是保证泵在恶劣工况下稳定运行的关键措施。高真空工艺需多级螺杆泵组合。浙江水冷式螺杆真空...

当齿间容积与进气口断开后，随着转子的继续旋转，该封闭容积因转子齿的啮合而逐渐减小，内部气体被压缩，压力升高，这一阶段即为压缩过程。压缩过程持续到齿间容积与排气口连通为止。当齿间容积与排气口连通后，具有排气压力的气体被不断排出泵外，直至该容积完全闭合，排气过程结束。每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，从而实现连续抽气。对于等螺距螺杆真空泵，泵腔内无内压缩，气体在输送过程中压力因排气口返流而升高；而对于变螺距螺杆真空泵，通过螺距的逐渐减小实现内压缩，可降低排气温度和功耗。这种周期性容积变化的工作机制使螺杆泵具备了优异的压缩性能，压缩比可达10⁵量级。 定期清洁进气口防止杂质进入。化工螺杆真...

螺杆真空泵因结构简单、重要部件无易损件，维护工作量相对较小。日常维护主要集中在对轴承、同步齿轮和轴封的定期检查。对于油润滑的轴承和齿轮箱，需定期检查油位和油质，建议初次运行500小时后更换润滑油，此后每运行3000小时换油一次。轴封（通常为机械密封）需定期检查有无泄漏，若发现密封失效应及时更换。冷却系统需保持清洁，定期清洗冷却水过滤器，确保水流量充足。对于抽吸含粉尘气体的螺杆泵，泵腔内可能有粉尘沉积，可通过氮气吹扫装置定期清理，或拆开进排气法兰用压缩空气吹扫。带防腐涂层的螺杆泵应避免使用硬质工具清理，防止涂层损伤。螺杆泵的日常维护简单便捷，许多型号采用免维护设计，有效降低了用户的使用成本。聚四...

变螺距螺杆真空泵的转子螺距从吸气端向排气端逐渐减小，气体在输送过程中随着容积的逐渐缩小而实现内压缩。这种设计使得气体在到达排气口前已达到或接近排气压力，大幅减少了排气时的返流冲击。相比等螺距结构，变螺距泵具有明显的性能优势：排气温度更低，能耗更小，极限真空度更高。西安交通大学的实验研究表明，对于同一规格的机型，采用变螺距齿型相对于等螺距齿型，极限真空压力可从3.75Pa降低到2.32Pa，指示功率降低约11%。变螺距系数是影响泵性能的关键参数，合理的螺距变化规律可实现较好的内压缩比匹配。变螺距螺杆泵特别适用于对能耗和排气温度有严格要求的工况，如半导体制造、精密镀膜等领域。 螺杆转子采用三维...

螺杆真空泵因结构简单、重要部件无易损件，维护工作量相对较小。日常维护主要集中在对轴承、同步齿轮和轴封的定期检查。对于油润滑的轴承和齿轮箱，需定期检查油位和油质，建议初次运行500小时后更换润滑油，此后每运行3000小时换油一次。轴封（通常为机械密封）需定期检查有无泄漏，若发现密封失效应及时更换。冷却系统需保持清洁，定期清洗冷却水过滤器，确保水流量充足。对于抽吸含粉尘气体的螺杆泵，泵腔内可能有粉尘沉积，可通过氮气吹扫装置定期清理，或拆开进排气法兰用压缩空气吹扫。带防腐涂层的螺杆泵应避免使用硬质工具清理，防止涂层损伤。螺杆泵的日常维护简单便捷，许多型号采用免维护设计，有效降低了用户的使用成本。螺杆...

从节能环保的角度审视，螺杆真空泵具有明显的综合优势。首先，在能耗方面，螺杆泵的功率消耗低于同等抽速的传统真空泵，对于长期连续运行的工艺，节能效果尤为明显。其次，在节水方面，螺杆泵只需少量循环冷却水（部分小型泵甚至可风冷），相比水环泵、水喷射泵可节水90%以上。水环泵和喷射泵需要定期换水以维持真空度，水资源消耗巨大。第三，在环保方面，螺杆泵工作腔内无油、无水，被抽气体直接排出，不产生废水、废油，无环保压力，气体回收更便捷。对于溶剂回收工艺，采用螺杆泵可获得纯净的回收溶剂，无需后续分离处理。尽管螺杆泵的初始采购成本较高，但综合考虑长期运行费用、维护成本和环保效益，其全生命周期成本更具优势。 耐...

正确的安装与管道设计是保障螺杆真空泵性能的基础。泵应安装在水平、坚固的基础上，并确保留有足够维护空间。进气管道应尽可能短、直、管径足够，并设置入口过滤器（通常40-60目）以阻挡颗粒物；对于可能产生液体的工况，需加装气液分离器或缓冲罐。排气管道应向下方倾斜，排出口位置需低于泵排气口，或设置自动排液阀/循环泵，防止冷凝液积聚引起振动和液击。系统应配置进出口切断阀、止回阀（防倒流）以及吹扫氮气接口。所有管道连接应避免对泵体产生应力，建议使用柔性接头。对于易燃易爆气体，进出口需设置阻火器。实验室螺杆泵噪音控制更严格。浙江LG等螺距螺杆真空泵真空系统在粉末冶金，特别是金属注射成型（MIM）和陶瓷注射成...

螺杆真空泵相较于传统的旋片式或水环式真空泵，具有多项性能优势。首先，其工作腔内无任何润滑油，属于典型的干式真空泵，能够有效避免油污染对生产工艺及被抽容器的影响，同时也免去了复杂的废油处理工序。其次，螺杆泵对环境温度与抽取介质的类属具有较宽的适应范围，能够在较高的排气压力下维持稳定的抽速。由于内部结构坚固且无阀门等易损件，其运行可靠性极高，平均无故障运行时间（MTBF）较长。此外，螺杆真空泵在抽除含有大量水蒸气或微量粉尘的气体时表现出较强的耐受力，通过合理的结构设计可有效防止颗粒堆积与介质凝结。在多级螺杆设计中，气体在泵腔内的压缩过程是温和且连续的，这降低了排气时的脉冲幅度，有利于后端排气处...

1）开机前准备：检查油位（油镜中线）。确认冷却水阀门已打开，水流畅通。确认氮气吹扫/密封气阀门已打开，压力设定正确（如密封气3bar，吹扫气0.5bar）。检查管路连接，确保工艺入口阀和出口阀均全开，严禁关闭出口阀启动。2）启动步骤：启动电机，空载运行。检查并调节氮封气流量（如2.5-3L/min）。打开吹扫阀，对泵进行5-10分钟预吹扫（可选），然后关闭。缓慢打开工艺入口阀，切入系统。监控机体温度，通过调节冷却水流量将温度控制在比较好范围（如50-75℃），确保轴承温度不超过80℃（或环境温度+35℃）。3）停机步骤：关闭工艺入口阀，将泵切出系统。打开吹扫阀，对泵进行20-40分钟的清吹扫，...

化工与制药行业的生产过程往往伴随着大量有机溶剂挥发、酸性气体产生以及物料的干燥浓缩。在这些领域，螺杆真空泵主要用于反应釜的真空抽滤、真空蒸馏以及冷冻干燥等工艺。由于化工制药过程中涉及的介质复杂多变，且具有毒性或易燃易爆特性，因此要求真空泵不仅要有良好的密封性能，还要具备防爆与耐腐蚀能力。不锈钢材质的螺杆真空泵配合机械密封或磁流体密封，能够有效防止有害气体泄漏至大气中。同时，针对容易结晶或粘度较大的物料，可以通过在螺杆泵进气口前加装冷凝器或除尘器进行预处理。在某些特定的干燥工艺中，螺杆真空泵能够在较低的温度下创造真空环境，帮助物料中的水分或溶剂在低温下沸腾汽化，从而达到干燥的目的，这有助于保留热...

在原料药的溶媒结晶与干燥工艺中，马德宝干式螺杆真空泵正逐步取代传统的“罗茨+液环”湿式真空机组。传统液环泵不仅耗水量大，还会吸收有毒有害的有机溶媒，产生难以处理的废液。马德宝螺杆泵采用先进的变螺距转子设计，相比传统的等螺距结构可节省约30%的能耗。其排气温度相对较低，有利于在排气侧串联冷凝器，从而实现有机溶媒的高效气态直接回收与废水废液的近零排放。这种绿色、经济的真空解决方案，不仅降低了企业的环保治理成本，也有效提升了化学原料与药品的纯度。 螺杆泵故障多集中在密封与轴承。甘肃干式螺杆真空泵源头厂家化工与制药行业的生产过程往往伴随着大量有机溶剂挥发、酸性气体产生以及物料的干燥浓缩。在这些领域...

螺杆真空泵非常突出的优势在于其工作腔内无需任何润滑油或密封液，可实现完全无油的清洁真空。这一特性源于转子间、转子与泵壳间均保持微小间隙且无机械接触，无需依靠油膜进行密封和润滑。与传统油封式真空泵相比，螺杆泵彻底杜绝了油蒸气的返流污染，确保了被抽真空系统的纯净度。在半导体芯片制造、制药真空蒸馏、精细化工合成等对洁净度要求严苛的工艺中，这一优势尤为突出。同时，无油设计也使得被抽气体可以直接排出泵体而不污染冷却水，无环保压力，气体回收更便捷。对于化工生产中常见的溶剂回收工艺，采用无油螺杆泵可获得纯净的回收溶剂，创造附加经济效益。 航空航天测试用螺杆泵精度要求高。湖北干式螺杆真空泵推荐品牌 从节...

启动前：检查油位（应在视窗中线偏上）、冷却水阀门开启且流量正常、氮气吹扫压力设定正确、所有排污阀关闭、工艺入口阀关闭。启动：先点动确认电机转向正确，然后在无负载（入口阀关）状态下启动泵，检查有无异响振动。随后打开氮封气，进行开机吹扫5-10分钟。吹扫完毕后，缓慢打开工艺入口阀，将泵切入系统。运行中：监控机体温度（通常控制在50-75℃，不超过80℃），通过调节冷却水温度控制阀或流量来稳定温度；监测电机电流、进出口压力、振动和噪音是否正常。停机：先关闭工艺入口阀，切出系统；打开吹扫阀进行停机吹扫20-40分钟；停泵；关闭吹扫氮气和冷却水；在冬季长期停用时，须排净泵体及管线内的冷却水以防冻裂。高真...

等螺距螺杆真空泵的转子螺距沿轴向保持不变，泵腔内无内压缩过程。气体在泵腔内基本以等体积状态向排气端输送，在排气口处因高压气体返流而实现压缩。这种设计使得泵腔直通、无中隔板结构，气流通道顺畅，固体粉尘和可凝性液体不易在腔内沉积，即使有少量颗粒物进入，也容易被气流带出。因此，等螺距螺杆泵对含粉尘、可凝性蒸气的工况具有优异的耐受能力，特别适用于真空干燥、真空蒸馏等工艺。然而，由于无内压缩，排气温度较高，能耗相对较大。为降低排气温度，通常需要加强泵体冷却或采用多级压缩方案。等螺距泵的极限真空度一般在1-5Pa量级。 无油设计使螺杆真空泵避免油污染问题。进口螺杆真空泵经销商 食品加工行业对生产环境...

顺应工业4.0的发展趋势，马德宝新一代螺杆真空泵深度融合了智能化与模块化设计理念。设备标配PLC自动控制系统，支持柔性启动与变频调速，能够根据实时真空度需求精确调节电机转速，避免电能浪费并消除启动时的机械冲击。在机械结构上，采用紧凑的撬装式底座设计，部分机型基础无需复杂固定，极大节省了厂房空间并缩短了安装调试周期。同时，泵体关键部位设有专门的消声器与便捷式清洗口，使得日常巡检与内部聚合物清理更为人性化，降低了操作工人的维护难度。 大型螺杆泵适用于化工成套设备。老牌螺杆真空泵真空系统 在生物制药的冻干工艺及食品的真空冷冻干燥中，对真空环境的卫生等级与挥发性残留有着极高的标准。马德宝螺杆真空...

螺杆真空泵的极限真空度，完全由转子型线和加工精度决定？这个说法不准确。型线和精度是基础，但有一个容易被忽略的关键因素是动平衡设计。对于单头螺杆转子，其质心并不在旋转轴上，而是呈螺旋线分布。在高转速下，如果动平衡处理不好，会产生巨大的惯性力和惯性力矩，导致严重振动。严重的振动会破坏转子与泵体之间精密的配合间隙，直接导致气体通过间隙的返流泄漏量急剧增加。因此，动平衡设计的优劣，直接决定了泵能否稳定地达到设计极限真空。一个设计精良但动平衡不佳的转子，在实际运行中可能连设计指标的一半都达不到。结论：极限真空是“型线设计+精密加工+优良动平衡”共同作用的结果，缺一不可。螺杆泵停机后需清洁内部残留气体。螺...

当齿间容积与进气口断开后，随着转子的继续旋转，该封闭容积因转子齿的啮合而逐渐减小，内部气体被压缩，压力升高，这一阶段即为压缩过程。压缩过程持续到齿间容积与排气口连通为止。当齿间容积与排气口连通后，具有排气压力的气体被不断排出泵外，直至该容积完全闭合，排气过程结束。每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，从而实现连续抽气。对于等螺距螺杆真空泵，泵腔内无内压缩，气体在输送过程中压力因排气口返流而升高；而对于变螺距螺杆真空泵，通过螺距的逐渐减小实现内压缩，可降低排气温度和功耗。这种周期性容积变化的工作机制使螺杆泵具备了优异的压缩性能，压缩比可达10⁵量级。 大型螺杆泵适用于化工成套设备。滑阀螺杆...

螺杆真空泵的密封吹扫（或称气障）是指在驱动端（前端盖）和非驱动端（后端盖）的密封区域，持续通入氮气等惰性气体，形成微正压屏障。其主要目的是防止工艺气体渗入齿轮箱污染润滑油和润滑脂，同时也能阻止润滑油向泵腔扩散，保持泵腔清洁。吹扫压力通常为 0.5-1.5 bar，流量根据型号而定。工艺吹扫（开机/停机吹扫）则是在泵启动前或停机后，关闭入口主阀，向泵腔内通入氮气或干燥空气并运行20-40分钟。其目的是在开机前预热泵腔防止冷凝，或在停机后***腔内残留的工艺气体、蒸汽或可凝物，特别是处理腐蚀性、有毒或易聚合介质时，此步骤至关重要，能有效防止泵内腐蚀、结垢或下次启动过载。大抽速型号可达 2700m³...

在原料药的溶媒结晶与干燥工艺中，马德宝干式螺杆真空泵正逐步取代传统的“罗茨+液环”湿式真空机组。传统液环泵不仅耗水量大，还会吸收有毒有害的有机溶媒，产生难以处理的废液。马德宝螺杆泵采用先进的变螺距转子设计，相比传统的等螺距结构可节省约30%的能耗。其排气温度相对较低，有利于在排气侧串联冷凝器，从而实现有机溶媒的高效气态直接回收与废水废液的近零排放。这种绿色、经济的真空解决方案，不仅降低了企业的环保治理成本，也有效提升了化学原料与药品的纯度。 3D NAND 制造需高抽速螺杆泵。宁夏LGB系列干式螺杆真空泵报价螺杆转子的结构设计是决定泵性能的关键，其发展经历了从等螺距到变螺距，再到变截面（锥...

螺杆真空泵的功耗主要由内压缩功和外压缩功（排气功）组成。实现节能的途径主要包括：▫优化转子型线：采用变螺距、大压缩比转子设计，在长期运行的低真空阶段大幅降低排气功耗。▫变频控制：针对大压缩比泵，在高压强启动阶段通过变频降速运行，降低内压缩功耗，防止电机过载。平稳后再恢复全速。▫设置中间泄压阀：在转子压缩段开设溢流阀，高压强时部分气体提前排出，避免过压缩，降低启动功耗。▫降低排气压力：在排气口加装小型辅助泵（如节能套件），为螺杆泵创造一个低压排气环境，可明显降低其外压缩功耗。紧急停机功能保障设备安全运行。湖北干式螺杆真空泵本地厂家螺杆真空泵是一种通过一对精密同步、反向旋转的螺杆转子来实现气体抽吸...

大型空间模拟舱、低压风洞等设施，容积巨大（数千至数万立方米），需要从大气压快速抽至中低真空，且可能含有大量水蒸气。传统滑阀泵组数量多、油耗大、油蒸汽污染严重，且对水蒸气敏感。干式螺杆真空泵机组成为现代优先方案。通常采用“多级罗茨泵 + 螺杆泵”的串联形式，例如“二级罗茨+螺杆”或“三级罗茨+螺杆”机组。螺杆泵作为前级泵，负责从较高压力抽至中真空，罗茨泵作为主泵在低压力下提供大抽速。这种机组抽速大（可达数千升/秒）、极限真空高（可达10^-1 Pa量级）、清洁无油、能耐受水蒸气，运行振动噪音小，极大地提升了大型真空系统的可靠性和环保性。螺杆泵启动速度快可快速达到真空。海南罗茨螺杆真空泵 变螺距...