吉林国产罗茨真空泵

罗茨真空泵是一种容积式干式真空泵，其**是一对由同步齿轮驱动、进行高速等速反向旋转的“8”字形转子。转子与转子、转子与泵壳之间保持精密间隙（通常0.1-0.3mm），互不接触，从而实现无油抽气。按功能可分为：普通型（ZJ），需依赖前级泵建立预备真空方能启动；带旁通阀型（ZJP），内置溢流阀，当进出口压差超过设定值（如3000-6000Pa）时自动开启，实现过载保护，允许泵在较高入口压力下启动，缩短抽气时间。还有直排大气型，通过多级串联或气冷/水冷设计，能将气体直接排入大气，但通常需配冷却器和消音器。罗茨真空泵在半导体刻蚀、真空镀膜和空间环境模拟中承担大流量抽气任务。国产罗茨真空泵哪个型号好

罗茨真空泵与多级罗茨泵串联，可满足超高真空大腔体的抽气要求。吉林国产罗茨真空泵

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