ZJ型罗茨真空泵选型

罗茨真空泵的拆卸和重新装配是技术性很强的工作，需注意以下事项：1.拆卸前：必须测量并记录主、从动转子各部件的原始间隙，作为重装的依据。2.拆卸过程：避免用重锤直接敲打零件，拆下的零件要妥善保管、清洗。3.装配前：所有零件必须修光毛刺，清洗干净。静密封平面可使用“106”有机硅橡胶或真空脂进行密封。4.重要步骤：重新装配时，调整转子间隙（转子与泵体、转子与转子、转子与端盖）是非常重要的环节。通常通过调整活动端齿轮的相对位置来保证转子间的间隙，并用塞尺进行精确测量，直至符合“间隙一览表”的要求。5.试运转：重装后必须进行检漏试验和试运转，确认正常后方可投入使用。

在半导体制造领域，罗茨泵扮演着不可或缺的重要角色。芯片制造的多个关键工艺步骤——包括离子注入、物理的气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、刻蚀等——均需在清洁高真空环境中进行。罗茨泵因其无油洁净特性，从源头杜绝了油蒸气返流对硅片的污染，符合半导体行业的严苛洁净标准。在多晶硅还原、单晶硅拉制等过程中，罗茨泵通常作为主泵或前级增压泵，配合干式螺杆泵或分子泵构成多级抽气机组，能够在较短时间内将反应室抽至所需的10⁻³Pa量级真空度，并稳定维持工艺压力。针对ALD（原子层沉积）等先进制程对粉尘和腐蚀性气体的耐受要求，增强型罗茨泵机组（如SJRE系列）通过特殊密封结构和耐腐蚀涂层，实现了长期稳定运行。罗茨真空泵适用领域广，覆盖化工、电子等行业。

轻量化罗茨真空泵，便于设备搬运与安装调试。ZJ型罗茨真空泵选型

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