材料科学:功能材料的可控组装,在功能材料领域,Polos光刻机为精确组装提供了技术保障。上海某化学研究所借助其光刻技术,成功制备多组分纳米纤维,实现了新能源器件的结构化设计。设备可在柔性基底上加工导电图案,为柔性电池、智能穿戴设备的研发奠定基础。其0.1μm的高重复性,确保了功能材料批量制备的一致性,加速科研成果向产业化转化。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。光束引擎高速扫描:SPS POLOS µ单次写入400 µm区域,压电驱动提升扫描速度。北京德国PSP-POLOS光刻机可以自动聚焦波长

软件系统:操作门槛的大幅降低,Polos配套的控制软件简化了专业光刻操作,基于Windows系统的界面支持CAD文件与位图直接导入,导航逻辑类似CNC系统,无需专业编程知识即可上手。SFTprint软件的自动剂量测试功能,可根据光刻胶类型自动匹配曝光参数,新手也能获得稳定的加工效果。多层对准向导功能则将复杂的多层光刻流程拆解为步骤化操作,使非专业人员也能完成高精度叠加加工。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。上海德国POLOS桌面无掩模光刻机不需要缓慢且昂贵的光掩模成本效益:单次曝光成本低于传统光刻 1/3,小批量研发更经济。

在微流体领域,Polos系列光刻机通过无掩模技术实现了复杂3D流道结构的快速成型。例如,中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘阵列,研究细胞球浸润行为,为组织工程提供了新型生物界面设计策略10。Polos设备的精度与灵活性可支持此类仿生结构的批量生产,推动医疗诊断芯片的研发。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。
微流体芯片:器官芯片的血管建模,Polos光刻机在微流体领域的应用极具突破性,支持1-100μm微通道的定制化加工,可precise复刻人体血管的分支结构。某团队利用POLOSµ制作的肝芯片微通道网络,成功模拟了血液灌注过程,使肝细胞存活率提升至85%。设备兼容PDMS等软材料的特性,还可实现微阀、微泵等功能单元的一体化制作,推动器官芯片从实验室走向临床应用。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。POLOS µ 光刻机:桌面级设计,2-23μm 可调分辨率,兼容 4 英寸晶圆,微机电系统加工误差 < 5μm。

一家专注于再生医学的科研公司在组织工程支架的研究上,使用德国Polos光刻机取得remarkable成果。组织工程支架需要具备特定的三维结构,以促进细胞的生长和组织的修复。Polos光刻机能够根据预先设计的三维模型,在生物可降解材料上精确制造出复杂的孔隙结构和表面图案。通过该光刻机制造的支架,在动物实验中表现出优异的细胞黏附和组织生长引导能力。与传统制造方法相比,使用Polos光刻机生产的支架,细胞在其上的增殖速度提高了50%,为组织工程和再生医学的临床应用提供了有力支持。Polos-BESM 光刻机:无掩模激光直写,50nm 精度,支持金属 / 聚合物同步加工,适配第三代半导体器件研发。北京德国PSP-POLOS光刻机可以自动聚焦波长
跨学科应用:覆盖微机械、光子晶体、仿生传感器与纳米材料合成领域。北京德国PSP-POLOS光刻机可以自动聚焦波长
某生物力学实验室通过Polos光刻机,在单一芯片上集成了压阻式和电容式细胞力传感器。其多材料曝光技术在20μm的悬臂梁上同时制备金属电极与硅基压阻元件,传感器的力分辨率达5pN,位移检测精度达1nm。在心肌细胞收缩力检测中,该集成传感器实现了力-电信号的同步采集,发现收缩力峰值与动作电位时程的相关性达0.92,为心脏电机械耦合机制研究提供了全新工具,相关论文发表于《BiophysicalJournal》。无掩模激光光刻(MLL)是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的MLL系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。北京德国PSP-POLOS光刻机可以自动聚焦波长
2D材料加工:二维异质结的precise构筑,在石墨烯等2D材料研究中,Polos光刻机实现了异质结的高精度图案化。利用NWA-100的0.3μm分辨率,科研人员可在石墨烯表面刻制精密电极,构建二维晶体管。其非接触式曝光方式避免了对超薄材料的损伤,配合多种基材兼容特性,还可实现石墨烯与其他二维材料的precise叠层,为下一代柔性电子器件研发提供关键工具。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广...