企业商机
光刻机基本参数
  • 品牌
  • POLOS
  • 型号
  • BEAM
  • 类型
  • 激光蚀刻机
光刻机企业商机

无掩模激光光刻技术为研究实验室提供了一种多功能的纳米/微米光刻工具,可用于创建亚微米级特征,并促进电路和器件的快速原型设计。经济高效的桌面配置使研究人员和行业从业者无需复杂的基础设施和设备即可使用光刻技术。应用范围扩展至微机电系统 (MEM)、生物医学设备和微电子器件的设计和制造,例如以下领域:医疗(包括微流体)、半导体、电子、生物技术和生命科学、先进材料研究。全球无掩模光刻系统市场规模预计在 2022 年达到 3.3606 亿美元,预计到 2028 年将增长至 5.0143 亿美元,复合年增长率为 6.90%。由于对 5G、AIoT、物联网以及半导体电路性能和能耗优化的需求不断增长,预计未来几十年光刻市场将持续增长。无掩模技术优势:摒弃传统掩模,图案实时调整,研发成本降低 70%,小批量生产经济性突出。陕西PSP光刻机光源波长405微米

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一家专注于再生医学的科研公司在组织工程支架的研究上,使用德国 Polos 光刻机取得remarkable成果。组织工程支架需要具备特定的三维结构,以促进细胞的生长和组织的修复。Polos 光刻机能够根据预先设计的三维模型,在生物可降解材料上精确制造出复杂的孔隙结构和表面图案。通过该光刻机制造的支架,在动物实验中表现出优异的细胞黏附和组织生长引导能力。与传统制造方法相比,使用 Polos 光刻机生产的支架,细胞在其上的增殖速度提高了 50%,为组织工程和再生医学的临床应用提供了有力支持。陕西PSP光刻机光源波长405微米德国 SPS Polos:深耕微纳加工 35 年,专注半导体与生命科学领域,全球布局 6 大技术中心,服务 500 + 科研机构。

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SPS POLOS µ以紧凑的桌面设计降低实验室设备投入,光束引擎通过压电驱动实现高速扫描(单次写入400 µm区域)。支持AZ5214E等光刻胶的高效曝光,成功制备3 µm间距微图案阵列和叉指电容器,助力纳米材料与柔性电子器件的快速验证。其无掩模特性进一步减少材料浪费,为中小型实验室提供经济解决方案62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。

在航空航天科研中,某科研团队致力于研发用于环境监测和侦察的微型飞行器。其中,制造轻量化且高性能的微机械部件是关键。德国 Polos 光刻机凭借无掩模激光光刻技术,助力团队制造出尺寸precise、质量轻盈的微型齿轮、机翼骨架等微机械结构。例如,利用该光刻机制造的微型齿轮,齿距精度达到纳米级别,极大提高了飞行器动力传输系统的效率和稳定性。基于此,科研团队成功试飞了一款新型微型飞行器,其续航时间和飞行灵活性远超同类产品,为未来微型飞行器在复杂环境下的应用奠定了坚实基础。Polos-BESM 光刻机:无掩模激光直写,50nm 精度,支持金属 / 聚合物同步加工,适配第三代半导体器件研发。

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在organ芯片研究中,模拟人体organ微环境需要微米级精度的三维结构。德国 Polos 光刻机凭借无掩模激光光刻技术,帮助科研团队在 PDMS 材料上构建出仿生血管网络与组织界面。某再生医学实验室使用 Polos 光刻机,成功制备出肝芯片微通道,其内皮细胞黏附率较传统方法提升 40%,且可通过软件实时调整通道曲率,precise模拟肝脏血流动力学。该技术缩短了organ芯片的研发周期,为药物肝毒性测试提供了更真实的体外模型,相关成果入选《自然・生物技术》年度创新技术案例。固态电池:锂金属界面阻抗降至 50Ω・cm²,电池循环寿命提升 3 倍。陕西PSP光刻机光源波长405微米

光刻胶broad兼容:支持AZ5214E、SU-8等材料,优化参数降低侧壁粗糙度。陕西PSP光刻机光源波长405微米

某基因treatment团队采用 Polos 光刻机开发了微米级 DNA 递送载体。通过 STL 模型直接导入,在生物可降解聚合物表面刻制出 1-5μm 的蜂窝状微孔结构,载体的 DNA 负载量达 200μg/mg,较传统电穿孔法提升 5 倍。动物实验显示,该载体在肝脏靶向递送中,基因转染效率达 65%,且免疫原性降低 70%。其无掩模特性支持根据不同细胞表面受体定制载体形貌,在 CAR-T 细胞treatment中,CAR 基因导入效率从 30% 提升至 75%,相关技术已申请国际patent。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。陕西PSP光刻机光源波长405微米

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