深圳半导体水导激光加工研究进展

商业航天对制造成本和交付周期极为敏感，传统航天制造工艺难以兼顾高性能与低成本。中科煜宸水导激光以其普遍的材料适应性和高效率的加工能力，成为商业火箭和卫星制造的理想选择。无论是火箭发动机推力室的再生冷却通道精密加工，还是卫星结构件的轻量化开孔，该技术都能以更快的速度、更低的废品率完成。其无热影响的特性保证了关键部件在太空极端环境下的可靠性，同时明显降低了单件制造成本，助力商业航天企业实现快速迭代和大规模星座部署的宏伟目标。中科煜宸水导激光设备覆盖 RJ203 至 RJ1005 全系列，加工幅面 300mm—3000mm，满足小 / 中 / 大型零件批量生产。深圳半导体水导激光加工研究进展

金刚石作为自然界超硬的材料，其精密加工一直是行业难题。中科煜宸开发的“水导激光加工金刚石盲槽工艺”，通过多角度补偿技术实现了金刚石盲槽的高质量加工。该工艺不 能优化激光入射角，减少散射效应，提升槽壁光滑度，还可避免因为单一方向加工引发的周期性纹路与缺陷。动态角度调整使激光焦点与材料表面始终匹配，有效减轻深度增加导致的能量衰减问题，确保深槽底部均匀加工。同时，多角度加工改善热分布，降低热堆积对材料性能的影响，并优化水导流场，增强加工稳定性。采用中科煜宸水导激光多角度补偿工艺加工的金刚石盲槽，槽壁光滑、无微裂纹、深径比高，完全满足精密模具和刀具的应用要求。苏州科研级水导激光加工加工精度与质量中科煜宸水导激光智能工艺数据库内置千余种成熟参数，一键调用即可稳定出件，大幅缩短客户工艺调试周期。

单晶硅作为半导体产业的基础材料，其切割加工质量直接影响芯片的性能和良率。中科煜宸水导激光加工技术在单晶硅加工领域展现出明显优势。传统激光切割单晶硅时，热影响区大、边缘崩边严重、微裂纹难以避免，严重影响后续工艺。而中科煜宸水导激光技术利用水射流的持续冷却作用，将热影响区控制在极小范围内，加工边缘光滑无崩边，几乎不产生微裂纹。采用中科煜宸“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，从底部用透明玻璃支撑单晶硅片，让加工激光顺利逸散，保护了工件完整性。这一技术不 适用于单晶硅的划片切割，还可用于晶圆减薄、通孔成型等多种工艺，为半导体制造提供了全新的精密加工解决方案。

随着新能源汽车和储能产业的蓬勃发展，锂电池的制造精度和质量要求不断提高。电池极片（正负极片）和隔膜的切割质量直接影响电池的安全性能和循环寿命。传统模切工艺存在模具磨损快、毛刺大、精度难以保证等问题；普通激光切割则因热效应大，容易在切割边缘形成熔珠和热影响区，刺穿隔膜造成短路风险。中科煜宸水导激光加工技术为锂电池关键材料的精密切割提供了理想方案。水射流的持续冷却有效抑制了热积累，切割边缘平整光滑、无熔珠、无毛刺；水射流的冲洗作用还能及时带走切割产生的粉尘，避免污染。采用中科煜宸水导激光切割的电池极片，边缘质量明显提升，电池安全性和一致性更有保障。中科煜宸正积极与新能源产业链上下游企业合作，推动水导激光技术在动力电池制造领域的规模化应用。中科煜宸水导激光适配医疗钴铬钼植入件，加工无热损伤，保障材料生物相容性。

航空发动机的薄壁机匣和火焰筒等薄壁结构件对热输入极为敏感，微小的热变形就可能导致装配失败或服役故障。中科煜宸水导激光技术以其近乎无热影响的独特优势，能够在不产生任何热变形的前提下，对薄壁件进行精密切割、开窗或钻孔。加工过程中水射流的持续冷却作用如同一道“热屏障”，彻底消除了工件翘曲风险。这使得复杂薄壁结构的精密制造成为可能，大幅提升了发动机部件的制造精度与良品率，有力支撑了先进航空动力的自主研发与制造，缩短了发动机的研制周期。中科煜宸水导激光可在 3mm 厚镍基合金 + 热障涂层上稳定加工 1mm 直孔 / 斜孔，涂层无剥落、基体无热损伤。珠海金属复材水导激光加工材料兼容性列表

面对氧化铝、氧化锆、碳化硅等硬脆陶瓷材料，中科煜宸水导激光可无崩边、无裂纹地完成切割与打孔。深圳半导体水导激光加工研究进展

加工表面质量是衡量水导激光工艺水平的关键指标。中科煜宸开发的“水导激光加工表面质量改善工艺”，通过创新的加工路径规划大幅提升了表面质量。该工艺采用分段加工、交错路径或螺旋轨迹分散热量输入，有效减少单一区域的热积累；同时加快熔渣冷却并便于去除，避开界面或应力集中区域降低热应力集中，减少裂纹形成的风险。使用错位加工或多方向交替路径则可减小局部热梯度的积累，通过动态冷却有效降低表面温度梯度，抑制裂纹的萌生与扩展。中科煜宸水导激光表面质量改善工艺的应用，使得加工件表面光洁度达到新高度，大幅减少了后续处理工序，为客户节省了时间和成本。深圳半导体水导激光加工研究进展

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