上海冷激光加工水导激光加工刻蚀系统

单晶硅作为半导体产业的基础材料，其切割加工质量直接影响芯片的性能和良率。中科煜宸水导激光加工技术在单晶硅加工领域展现出明显优势。传统激光切割单晶硅时，热影响区大、边缘崩边严重、微裂纹难以避免，严重影响后续工艺。而中科煜宸水导激光技术利用水射流的持续冷却作用，将热影响区控制在极小范围内，加工边缘光滑无崩边，几乎不产生微裂纹。采用中科煜宸“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，从底部用透明玻璃支撑单晶硅片，让加工激光顺利逸散，保护了工件完整性。这一技术不 适用于单晶硅的划片切割，还可用于晶圆减薄、通孔成型等多种工艺，为半导体制造提供了全新的精密加工解决方案。中科煜宸成功实现了水导激光技术的国产化与产业化突破，打破了国外长期垄断。上海冷激光加工水导激光加工刻蚀系统

电火花加工（EDM）是传统精密加工的重要手段，但存在电极损耗大、效率低、工作液污染重等问题；化学蚀刻、电解加工等存在化学品使用和废液排放的环保压力。中科煜宸水导激光加工技术作为一种绿色冷加工技术，具有高效、准确、无化学品、低废料排放的明显优势，是传统工艺升级替代的理想选择。水导激光加工不使用任何化学试剂，耗材是水和电，加工废料 为少量熔渣和粉尘，易于收集和处理，环保压力极小。同时，中科煜宸水导激光工艺准备时间短，小批量多品种加工的灵活性极高。对于正在寻求绿色转型、降本增效的传统制造企业，批量应用中科煜宸水导激光设备或委托中科煜宸水导激光加工基地提供服务，是迈向智能制造、绿色制造的重要一步。珠宝水导激光加工技术培训与支持卫星部件轻量化加工实现新突破，水导激光让部件重量减轻10%以上。

单晶硅作为一种典型的脆硬材料，在水导激光加工过程中面临着崩边、裂纹等严峻挑战。中科煜宸创新研发的“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，通过巧妙的结构设计解决了这一行业难题。该系统采用高透光性玻璃作为底部支撑材料，从底部方向贴合到单晶硅片，与单晶硅片形成一体并支撑单晶硅片；同时通过上下夹具进行夹持固定，在夹具与单晶硅片的接触面加装弹性垫片进行缓冲和防护。这种双重支撑结构既提供了有效的机械支撑，又使得加工过程中的激光能够透过玻璃逸散，防止激光反射对单晶硅造成损伤。采用中科煜宸水导激光双重支撑技术加工的单晶硅片，边缘崩边和裂纹明显减少，成品表面质量大幅提升。

硬质合金作为典型的模具和刀具材料，具有极高的硬度和耐磨性，同时也带来了加工困难、成本高昂的问题。传统的电火花加工（EDM）虽然能够加工硬质合金，但效率低、电极损耗大、表面存在再铸层；而磨削加工则需要昂贵的金刚石砂轮，且复杂形状难以实现。中科煜宸水导激光加工技术则为硬质合金提供了全新的高效经济方案。激光能量能够快速去除材料，而水射流冷却有效抑制了热影响，保证了切割质量。中科煜宸规划的水导激光精密加工基地将硬质合金列为主要服务材料之一。无论是硬质合金板材的切割下料，还是复杂形状刀具的精密成型，中科煜宸水导激光都能够高速、高质量地完成，为客户大幅降低加工成本、缩短交货周期。在加工高反射性的铜、金等金属时，水导激光展现出优越的稳定性和效率，切口无氧化且毛刺极少。

钨、钼、钽、铌等稀有金属合金材料具有熔点高、硬度大的特点，在航空航天、电子信息、医疗等领域有着不可替代的应用，但其加工难度极大。传统机械加工工具损耗严重、效率低下；普通激光加工则因热积累严重导致材料氧化、变形。中科煜宸水导激光加工技术为这些难加工材料提供了理想的解决方案。水射流的持续冷却有效抑制了热积累，防止了材料氧化；激光能量的高效去除保证了加工效率。无论是钨合金的精密打孔，还是钽板的异形切割，中科煜宸水导激光都能够轻松应对。中科煜宸400W大功率水导激光设备能够切割更厚的难熔材料，满足大厚度工件的加工要求。中科煜宸水导激光技术正在帮助更多企业攻克稀有金属精密加工的技术难关。通过超精密喷嘴与恒压系统，中科煜宸设备能生成极其稳定、均匀的微米级层流水射流，为高质量加工奠定基础。深圳冷激光加工水导激光加工加工样品展示

火箭发动机喷管冷却通道精准打孔，水导激光保障航天发射安全。上海冷激光加工水导激光加工刻蚀系统

航空发动机的燃油喷嘴微孔加工对孔径精度、孔壁质量和流量一致性要求极高。中科煜宸水导激光能够加工出直径小至数十微米、深径比高达十比一以上的高质量微孔，孔壁光滑无锥度。水流在加工过程中持续冲刷，杜绝了熔渣堵塞喷孔的风险。这使得喷嘴的燃油雾化效果得到明显改善，燃烧更充分，排放更低。该技术已成功应用于多种型号航空发动机燃油喷嘴的量产制造，为提升发动机燃烧效率和降低油耗提供了可靠的工艺保障，是精密微孔加工领域的可靠方案。上海冷激光加工水导激光加工刻蚀系统

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