远程等离子体源（RPS）是一种用于产生等离子体的装置，它通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。如在CVD等薄膜设备中，RPS与设备腔体连接，进行分子级的清洗。在晶圆制造过程中，即使微米级的灰尘也会造成晶体管污染，导致晶圆废片，因此RPS的清洁性能尤为重要。RPS不仅避免了传统等离子体源直接接触处理表面可能带来的热和化学损伤，还因其高度的集成性和灵活性，成为现代真空处理系统中不可或缺的一部分。RPS用于晶圆清洗、刻蚀和薄膜沉积工艺，去除光刻胶和残留物。江苏晟鼎RPS等离子体电源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借多维度技术突破成为精密测量领域的榜样产品。该 RPS 设备搭载双目 500 万像素工业相机，配合 3 组 9 个高分辨率镜头，可通过镜头切换实现 420×240mm² 至 90×52mm² 的多范围扫描，无需调节工作距离即可保证比较好扫描效果。RPS 采用蓝光窄带光源与格雷码、多频外差法双光栅模式，抗干扰能力强，即使在复杂环境下也能精细捕捉细节。在扫描效率上，RPS 单幅测量时间≤1.5 秒，结合多核多线程高速算法与 GPU 加速，数据三维重建速度大幅提升。RPS 支持标志点全自动拼接、特征拼接等多种拼接模式，拼接后自动报告精度，全局误差控制能力突出。该 RPS 设备可兼容 CATIA、Geomagic 等主流三维软件，数据输出格式丰富，广泛应用于智能装备、机器人、医疗设备等领域的精密测量需求。广东远程等离子源处理cvd腔室RPS腔体清洗远程等离子体源RPS的主要优点在于它可以实现对表面的均匀处理，因此减少了对表面的热和化学损伤。
RPS远程等离子源在研发实验室中的多功能性：研发实验室需要灵活的工艺工具来测试新材料和结构。RPS远程等离子源支持广泛的应用，从基板清洁到表面改性，其可调参数（如功率、气体流量和压力）允许用户优化实验条件。在纳米技术研究中，RPS远程等离子源可用于制备超洁净表面，确保实验结果的准确性。其低损伤特性也使其适用于生物传感器或柔性电子的开发。通过提供可重复的工艺环境，RPS远程等离子源加速了创新从实验室到量产的过程。
三维NAND闪存堆叠层数的不断增加，对刻蚀后高深宽比结构的清洗带来了巨大挑战。其深孔或深沟槽底部的刻蚀残留物（如聚合物）若不能彻底清理 ，将严重影响后续多晶硅或钨填充的质量，导致电荷陷阱和器件性能劣化。在此RPS远程等离子源应用领域展现出其独特优势。由于等离子体在远程生成，其主要产物是电中性的自由基，这些自由基具有较好的扩散能力，能够无阻碍地深入深宽比超过60:1的结构底部，与残留物发生化学反应并将其转化为挥发性气体排出。相较于直接等离子体，RPS技术避免了因离子鞘层效应导致的清洗不均匀问题，确保了从结构顶部到底部的均匀清洁，且不会因离子轰击造成结构侧壁的物理损伤。这使得RPS远程等离子源应用领域成为3D NAND制造中实现高良率、高可靠性的主要 技术之一。在石墨烯器件制备中实现无损转移。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，为车辆导航提供了有效的增强解决方案，弥补了传统 GNSS 信号在复杂环境中的不足。在城市峡谷、隧道等 GNSS 信号受阻区域，RPS 通过构建城市道路的射频地图，结合 GNSS 信号提供连续、可靠的车辆位置信息，确保导航不中断。RPS 定位技术的抗干扰能力强，可有效避免多径效应对定位精度的影响，在复杂路况下仍能保持较高的定位准确性。晟鼎精密的 RPS 车辆导航增强系统可与车载导航设备无缝对接，无需额外改装即可使用，适配性强。通过 RPS 技术的应用，车辆导航的路径规划更精细，行驶指引更及时，大幅提升了驾驶体验，成为智能交通领域的重要 RPS 技术应用。在红外探测器制造中优化光敏面。上海远程等离子体源RPS厂家
为半导体设备腔室提供高效在线清洁解决方案。江苏晟鼎RPS等离子体电源
RPS远程等离子源在量子计算器件中的前沿应用在超导量子比特制造中，RPS远程等离子源通过O2/Ar远程等离子体去除表面磁噪声源，将量子比特退相干时间延长至100μs以上。在约瑟夫森结制备中，采用H2/N2远程等离子体精确控制势垒层厚度，将结电阻均匀性控制在±2%以内。实验结果显示，经RPS远程等离子源处理的量子芯片，保真度提升至99.95%。RPS远程等离子源在先进传感器制造中的精度突破在MEMS压力传感器制造中，RPS远程等离子源通过XeF2远程等离子体释放硅膜结构，将残余应力控制在10MPa以内。在红外探测器制造中，采用SF6/O2远程等离子体刻蚀悬臂梁结构，将热响应时间缩短至5ms。实测数据表明，采用RPS远程等离子源制造的传感器，精度等级达到0.01%FS，温度漂移<0.005%/℃。江苏晟鼎RPS等离子体电源
