吸附式机械手工作时会产生振动吗？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-28

设备自身的吸附动作主要涉及气流切换与轻微机械运动，产生的振动幅值控制在一定范围内。配合具有减振功能的机械臂与安装基座，可将整体振动传递减小，满足光掩膜版在处理过程中对稳定性的一般要求。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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