机械手能否识别掩膜版的方向是否正确？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-26

可以。机械手可通过集成视觉传感器或安装在取放位置的检测传感器判断掩膜版的方向。视觉传感器拍摄掩膜版上的方向标记或图形特征，与预设模板比对，判断是否方向正确。对于不具备视觉的系统，可通过检测掩膜版上的缺口或平面特征的位置来判定方向。如果检测到方向错误，机械手可以拒绝执行下一步动作并报警，或者根据预设流程将掩膜版旋转至正确方向（如果配有旋转机构）。这一功能减少了因掩膜版方向错误导致的工艺问题。

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