球面像差会给透射电镜成像带来哪些负面影响？

杭州博测材料科技有限公司2026-06-10

1. 直接限制设备分辨率上限。电磁透镜对边缘电子束汇聚能力更强，近轴与边缘电子束无法汇聚至同一焦点，物点成像后形成弥散光斑，电子探针尺寸被放大，设备无法分辨间距极小的原子列，这是传统电镜难以实现原子成像的**阻碍。 2. 造成晶格图像畸变、拖影失真。球差会改变电子波相位干涉效果，拍摄的晶格条纹出现偏移、模糊、边缘重影，层错、位错等晶体缺陷形态变形，无法精细测量晶面间距，严重影响物相标定与晶体结构分析准确性。

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