表面导静电检测不合格的判定标准是什么？

道格技术（苏州）有限公司2026-05-08

一、重要电阻判定范围 1. 导静电材质（洁净地坪 / 墙面常用） 合格：104Ω∼106Ω ＞106Ω → 不合格 2. 静电耗散材质（操作台、防静电垫） 合格：106Ω∼109Ω ＜106Ω（过导）/ ＞109Ω → 不合格 3. 绝缘高危（直接判定不合格） 表面电阻 ＞1012Ω 完全不泄放静电，严禁用于洁净 / 防静电区域 二、对地电阻判定 合格：≤ 1.0×10⁶ Ω 对地电阻超标、接地断路 → 不合格 三、简易一句话判定 洁净区导静电地面 / 墙板：超 10⁶Ω 即为不合格 2. 防静电台面 / 脚垫：大于 10⁹Ω 即为不合格 3. 任何表面电阻＞1012Ω，一律不合格 四、补充判定条件 1. 同区域多点检测，单点超标即判该区域不合格 2. 温湿度不达标（湿度＜40% RH）检测结果无效，需复测 3. 接地不良、数据波动大，直接判定管控不合格

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