多线光学相控阵国内企业

哈佛大学Capasso小组则采用非晶硅纳米柱阵列，通过热光效应调控，展示了二维光束偏转和聚焦功能。超表面OPA的比较大优点在于：① 阵元间距可做到远小于半波长，彻底规避栅瓣；② 厚度只数百纳米，与CMOS后端工艺兼容；③ 可同时调控多个光学自由度（相位、偏振、色散），实现多功能集成。但当前面临的重要瓶颈是调谐效率低——大多数可调超表面的相位调制深度不足（通常<π），且损耗较大（尤其是金属基超表面），同时，大规模动态超表面的驱动电路设计极为复杂，每个单元需单独引线，在10×10阵列上已有困难。尽管如此，随着相变材料（如GST、VO₂）和二维材料（如石墨烯、TMDC）的发展，超表面OPA有望在未来五年内实现高效率、低功耗的动态调控，成为微型化OPA的新范式。其无机械扫描的本质极大提升了系统的寿命与可靠性。多线光学相控阵国内企业

OPA光学相控阵技术是激光雷达行业毋庸置疑的前列技术。在全固态激光雷达的三大技术路线（OPA、Flash、MEMS）中，OPA被认为是技术难度比较高但前景更为广阔的方案。其重要价值在于：彻底摒弃机械运动部件，从根本上解决了传统机械式激光雷达“成本高、体积大、易损坏”的量产痛点。OPA芯片可更大面积运用于激光雷达、光通信、AR/VR、量子计算等诸多领域，其重要优势在于高集成度、小型化、低功耗、无机械结构、高可靠性以及可批量CMOS制造能力。在智能网联汽车产业快速发展的背景下，OPA全固态激光雷达有望成为L4/L5级自动驾驶的重要传感器。随着硅光工艺的日益成熟和III-V激光异质集成的突破，OPA芯片的成本将持续下降。业内普遍预测，全固态OPA激光雷达将在2028年前后实现前装量产，成为推动自动驾驶技术大规模商业化落地的关键使能硬件。二维光学相控阵激光雷达阵元之间的光程差控制是干涉效应的物理基础。

光学相控阵的价值远非只局限于光束偏转，其真正的魅力在于通过空间相位分布的灵活设计实现任意波束成形（Beamforming），即生成具有特定强度分布、相位分布或轨道角动量的结构光场。波束成形的基本原理是傅里叶光学——阵列口径上的近场相位分布与远场复振幅分布互为傅里叶变换对，因此只要在近场加载合适的相位掩模，即可在远场投影出任意图案。例如，加载菲涅尔透镜相位因子（φ(r)=πr²/λf）可使出射光束在距离f处汇聚成焦点，且该焦距可通过改变二次相系数实时调节，实现片上变焦透镜功能；加载螺旋相位因子（φ(θ)=l·θ）则可生成携带轨道角动量（OAM）的涡旋光束，l为拓扑荷数，该光束在传播过程中具有相位奇点和甜甜圈状的强度分布，可用于光镊操纵微粒、超分辨成像以及高维光通信编码。

自由空间型光学相控阵以液晶空间光调制器（LC-SLM）和MEMS微镜阵列为是，其特点在于光信号在自由空间传播，通过分立器件引入相位调制。液晶光学相控阵（LCOPA）是更为成熟的技术路线之一，它利用液晶分子的电控双折射效应——在两片透明导电玻璃之间填充向列相液晶，施加空间变化的电压后，液晶分子主轴沿电场方向重新取向，导致寻常光与非寻常光的折射率差Δn随电压变化，从而对透射光束引入可编程的相位延迟Δφ = (2π/λ)·Δn·d，其中d为液晶层厚度。通过将电极制作成单独寻址的条形阵列（典型宽度数微米至数十微米），即可在每个像素上单独控制电压，形成一维或二维相位分布。LCOPA的优势明显：驱动电压低（通常≤10V）、功耗极小（毫瓦级）、制造成本相对低廉，且已实现数千至上万个像素的大规模阵列，能够产生复杂相位图案。OPA的光束发散角可通过变迹技术进行有效控制。

在传统电子芯片制造领域，全球更先进的EUV（极紫外光）光刻机被海外企业垄断。而光子芯片开辟了一条全新的技术赛道——光子芯片基于成熟130nm工艺即可实现算力跃升，制造过程不需要用到EUV光刻机。这为我国集成电路产业“换道超车”、避免被“卡脖子”提供了战略机遇。OPA硅光芯片正是这一战略方向的重要抓手之一。目前，我国在光子芯片领域已具备一定的产业基础，具有较强的现实可行性。扬州群发光芯建成的全国首条OPA硅光芯片中试线，以及力策科技在OPA纯固态激光雷达芯片上的技术突破，都标志着中国在OPA硅光芯片的产业化进程中正走在前列。中国科技产业化促进会理事长惠小兵评价说，群发光芯作为国内头一个集研发设计、芯片生产、封装测试和对外销售于一体的科创企业，攻克多项核心技术。OPA硅光芯片有望成为中国在下一代光电子产业竞争中实现前沿的关键技术领域。自适应波束成形让OPA能够根据环境反馈智能调整。二维光学相控阵激光雷达

OPA在三维形貌测量中实现了快速非接触式扫描。多线光学相控阵国内企业

热光移相器利用硅材料的热光系数（dn/dT ≈ 1.86×10⁻⁴ K⁻¹），通过加热改变局部折射率从而引入相位变化，其优点在于热串扰低、相位线性好，缺点是热响应时间受热扩散限制（典型值10~100 μs），且功耗随阵元数线性增加（每移相器约数毫瓦）。电光移相器则利用等离子体色散效应，通过正向注入或反向偏置改变载流子浓度以调节折射率，响应速度可达纳秒级，但伴随较大的插入损耗（尤其是载流子吸收）和非线性效应。硅基OPA的扫描视场受限于光栅发射器的方向性带宽和移相器可实现的相位范围，目前典型值在±30°至±50°之间，通过级联多个光栅或采用非周期阵列可扩展至120°以上。加利福尼亚大学、麻省理工学院和上海科技大学等机构已先后研制出256通道乃至512通道的硅光OPA芯片，在激光雷达演示中实现了10米级距离的分辨率成像。多线光学相控阵国内企业

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