双面点针探针台产品介绍

手动探针台基本配置（包含探针台主体、显微镜、针座、探针等），探针台主体-可测试晶圆尺寸：4英寸weili-样品台行程：100mm*100mm-移动分辨率：~：360度-低漏电底栅接口，标准Triax输出-可选400度高温样品台显微镜-三目连续变倍体镜，LED环形照明-光学变倍总倍率45倍，物镜，总放大倍率约700倍针座-磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm-移动分辨率2um-标配4个，可装6个-漏电设计，漏电流探针低于100fA-Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆-低漏设计电探针，针尖探针探针直径标配10um，1um尺寸。 了解探针台的使用步骤。双面点针探针台产品介绍

手动探针台的维护和保养1.避免碰撞：在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。4.工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，比较好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭mini led探针台规格电路板各通道及载体高频高速测试。

探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：8、是否会用到探针卡？9、光学显微镜的**小分辨率需要用到多少？10、显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？11、接驳的测试仪器接口有哪些？12、测试环境时是否会需要加热或者降温？13、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？14、是否需要防震桌？15、若添置防震桌，是否有压缩空气？16、您的预算多少？项目计划什么时候落实采购？

探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。全自动探针台相比普通探针台添加了晶圆材料处理搬运单元（MHU）和模式识别（自动对准）。

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。探针台的探针的清洗。重庆桌面探针台

探针台广泛应用于科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。双面点针探针台产品介绍

    探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件？2、探针台机械精度要求多高？3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜比较大倍率200倍）5、需要几根探针同时去点测？6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具）7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：要求能测到的电流的量级）。 双面点针探针台产品介绍

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