南通洁净室气体管道设计

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全要求。南通洁净室气体管道设计

管网管道选型因为压缩空气输送过程中空气与管壁的摩擦而产生压力损失，所以空压机的出口压力与终端用气压力不等同。此外，输送管网中的阀门和弯头会造成压缩空气的节流效应和和流向的变化而产生压力损失。由此产生的压力损失会转化为热量，将其转化为直管的压降可以用以下公式进行计算：压降 (bar)； qc = 空气流量, FAD (l/s)；d = 管道内径 (mm)；l = 管道长度 (m)；p = 初始压力（绝压） bar(a)在计算压缩空气网络的不同管路的压损时，下表的值可作为允许的压降的参考值：管网的不同区块所需的管道长度（供气主管、支管、连接管）如何确定呢？设计供气管管网的比例图就是很好的办法。其中管网中的阀门、弯管、连接处等的等效长度可用下表进行折算。江苏气体管道设计供应商压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。

这期我们聊聊高纯气体的管路设计在实际应用上，应注意哪些要点？GP在管道设计上是如何实施？高纯气体管路设计要点：01气体特性，了解气体特性，规划单独的供应区域。一般根据气体特性分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。02输送距离，管路设计需要考虑输送至用气点的距离，距离越长，成本越高，风险越高。通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

气力输送设计的计算方法，一般设计程序，输送系统的布置。在合理选定气力输送系统型式后，便可进行系统布置。布置时可根据厂房的设备布置图，首先确定始点的供料器或吸嘴的位置和终点分离器的位置；其次确定空压机和附属设备的位置，再确定空气管和输送管道的配管、管件和弯管的数目等。完成布置后，就可以开始进行详细工程设计。在管道布置时，注意减少弯管的数目，在长距离输送时要注意使每段水平管不宜过长。通过室外的管段，必要时需进行保温，以防因温差悬殊而造成管内壁结露使物料粘壁。在物料输送管上，不应安装有碍输送的管件等。输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统。

实验室气体管道安全性，气体管道应使用耐腐蚀、耐压、无泄漏的材质。设计中应考虑防火、防爆措施，尤其是对于易燃、易爆气体。应有可靠的泄漏检测系统和应急预案，确保在气体泄漏时能够迅速采取措施。所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。实验室气体管道功能性要求，管道设计应满足气体使用的流量和压力要求，保证实验过程中供气的稳定性。对于特殊气体，如高纯气体，管道内部应保持高度清洁，防止污染。应有适当的过滤和净化系统，以除去气体中的杂质和水分。气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。江苏气体管道设计供应商

在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体。南通洁净室气体管道设计

气路的布线：1.气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SS316LBA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra<0.4umBA级管道。2.4N氮气主管线采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa压力下的流量可达8M3/小时，完全满足常规用气需求，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。3.5N氮气、氦气、预留气主管线采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。实验室气体管道设计要求严格，需要考虑多个因素，确保供应的气体能够满足实验室内不同设备和实验的需求。以下是实验室气体管道设计的一些基本要求。南通洁净室气体管道设计