纳米压印微影技术有望优先导入LCD面板领域原本计划应用在半导体生产制程的纳米压印微影技术(Nano-ImpLithography；NIL)，现将率先应用在液晶显示器(LCD)制程中。NIL为次世代图样形成技术。据ETNews报导，南韩显示器面板企业LCD制程研发小组，未确认NIL设备实际图样形成能力，直接参访海外NIL设备厂。该制程研发小组透露，若引进相关设备，将可提升面板性能。并已展开具体供货协商。NIL是以刻印图样的压印机，像盖章般在玻璃基板上形成图样的制程。在基板上涂布UV感光液后，再以压印机接触施加压力，印出面板图样。之后再经过蚀刻制程形成图样。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光图样，不需再另外贴附偏光薄膜。虽然在面板制程中需增加NIL、蚀刻制程，但省落偏光膜贴附制程，可维持同样的生产成本。偏光膜会吸收部分光线降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光图样，将不会发生降低亮度的情况。通常面板分辨率越高，因配线较多，较难确保开口率(ApertureRatio)。纳米压印技术具有高效、低成本、高精度等优点，可以实现大规模的纳米结构制备。陕西纳米压印国内用户
SmartNIL技术简介SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术，可提供功能强大的下一代光刻技术，几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能，因此还可以实现无人能比的吞吐量，并具有显着的拥有成本的优势，同时保留了可扩展性和易于维护的操作功能。另外，主模板的寿命延长到与用于光刻的掩模相当的时间。岱美作为EVG在中国区的代理商，欢迎各位联系我们，探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。步进重复纳米压印美元价格EVG的EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV纳米压印光刻系统。
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HERCULES®NIL：完全集成的纳米压印光刻解决方案，可实现300mm的大批量生产■批量生产低至40nm的结构或更小尺寸（分辨率取决于过程和模板）■结合了预处理（清洁/涂布/烘烤/冷却）和SmartNIL®技术■全自动压印和受控的低力分离，可蕞大程度地重复使用工作印章■具备工作印章制造能力EVG®770：连续重复的纳米压印光刻技术，可进行有效的母版制作■用于晶圆级光学器件的微透镜的高效母模制造，直至SmartNIL®的纳米结构■不同类型的母版的简单实现■可变的光刻胶分配模式■分配，压印和脱模过程中的实时图像■用于压印和脱模的原位力控制EVG770是用于步进重复纳米压印光刻的通用平台，可用于进行母版制作或对基板上的复杂结构来进行直接图案化。
EVG®720自动SmartNIL®UV纳米压印光刻系统自动全视野的UV纳米压印溶液达150毫米，设有EVGs专有SmartNIL®技术EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识，能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40nm*的纳米结构，具有无人能比的吞吐量，非常适合批量生产下一代微流控和光子器件，例如衍射光学元件（DOEs）。*分辨率取决于过程和模板如果需要详细的信息，请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。也可以访问岱美仪器技术服务有限公司的官网，获得更多信息。SmartNIL 非常适合对具有复杂纳米结构微流控芯片进行高精度图案化，用在下一代药 物研究和医学诊断设备生产。广东纳米压印研发生产
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