分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。我们常用的真空泵为蒸汽喷发真空泵,是以过饱满水蒸汽为作业介质的,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。干式旋片式真空泵经销商
旋片式真空泵:转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。滑阀式真空泵:在偏心转子外部装有一个滑阀,转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动,滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动,而泵腔分成两个可变容积。定片式真空泵:在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子,泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片,当转子旋转时,滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。余摆线式真空泵:在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子,它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。室旋片式真空泵:在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个单独工作室的旋片真空泵。螺杆真空泵标准真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
机械安装⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保真空泵运转平稳,振动小。⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应去除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的极限压力。⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。⑻如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
启动不了或者启动了噪音大可能原因:电机供电电压不足;电机缺相运行;泵长时间没用导致锈蚀;泵内吸入杂物;叶轮拖分配板。排除方法:检查供电电压是否过低;检查电机接线是否都牢靠;如果泵长时间没用导致锈蚀的可以加点除锈剂或者打开泵盖人为去除锈迹;打开泵盖去除杂物;调节叶轮与分配板的距离。电机过热可能原因:供水量过大导致电机超载;电机缺相;排气孔堵塞;叶轮拖动其他部件。排除方法:减少供水量至正常范围(参照泵的使用说明书之供液量);检查接线是否牢固;检查排气口;打开泵盖调节叶轮与其他部件的间隙。流量不足可能原因:管路漏气漏液;阻力损失增加;排除方法:检查连接处机械密封;检查管路及止回阀等有无故障。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。罗茨真空泵的启动压力为其比较大压差的1.5倍左右。化工罗茨真空泵供应企业
罗茨真空泵的工作原理性能特点罗茨泵与凸轮泵基本相同,但转子为罗茨型。干式旋片式真空泵经销商
真空泵油的抗乳化性:真空泵在运转过程中,系统内的水分与冷气领会排入泵油中, 假如真空泵油的抗乳化性不好,它将与混入的水构成乳化液,使水不易从循环油箱的底部放出,从而可能形成真空度降落和光滑不良。因而抗乳化性是工业光滑油的一项很重要的理化性能。特别在医药、食品、陶瓷等工业运用真空枯燥过程中,泵油的抗乳化性能更至关重要。抗乳化性好的泵油油水别离才能强,水蒸汽和冷凝气体经过开启气镇阀,会排出局部水蒸汽。另外,低粘度泵油的抗乳化才能比高粘度泵油要好。干式旋片式真空泵经销商
水真空环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点:水真空环泵结构简单,制造精度要求不高,容易加工。另外它结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。而且压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。真空泵常用名称:①主泵、②前级泵、②前级泵。真空装置哪里买真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封...