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高精度电子束曝光技术是微纳加工领域的重要工具,利用电子束的极短波长实现纳米级图形刻写,突破了传统光刻技术的分辨率限制。该技术通过热场发射电子枪产生高亮度电子束,经电磁透镜聚焦成纳米级束斑,扫描涂有感光...