晶圆键合开创液体活检医疗。循环肿瘤细胞分选芯片捕获率99.8%，肺病检出早于CT影像36个月。微流控芯片集成PCR扩增与基因测序，30分钟完成EGFR突变分析。强生临床数据显示：药物疗效预测准确率95%，患者生存期延长19个月。防污染涂层避免假阳性，推动预防关口前移。晶圆键合重塑微型卫星推进系统。陶瓷-金属梯度键合耐受2500K高温，比冲达320秒。脉冲等离子推力器实现轨道维持精度±50米，立方星寿命延长至10年。火星采样返回任务中完成轨道修正180次，推进剂用量节省40%。模块化设计支持在轨燃料加注，构建卫星星座自主管理生态。晶圆键合提升环境振动能量采集器的机电转换效率。江苏临时晶圆键合实验室
晶圆键合赋能红外成像主要组件升级。锗硅异质界面光学匹配层实现3-14μm宽波段增透，透过率突破理论极限达99%。真空密封腔体抑制热噪声，噪声等效温差压至30mK。在边境安防系统应用中，夜间识别距离提升至5公里，误报率下降85%。自对准结构适应-55℃～125℃极端温差，保障西北高原无人巡逻装备全年运行。创新吸杂层设计延长探测器寿命至10年。量子计算芯片键合突破低温互连瓶颈。超导铝-硅量子阱低温冷焊实现零电阻互联，量子态退相干时间延长至200μs。离子束抛光界面使量子比特频率漂移小于0.01%。谷歌72比特处理器实测显示，双量子门保真度99.92%，量子体积提升100倍。氦气循环冷却系统与键合结构协同，功耗降低至传统方案的1/100。模块化设计支持千级比特扩展。江西共晶晶圆键合实验室结合材料分析设备，探索晶圆键合界面污染物对键合效果的影响规律。
研究所利用多平台协同优势，对晶圆键合后的器件可靠性进行多维评估。在环境测试平台中，键合后的器件需经受高低温循环、湿度老化等一系列可靠性试验，以检验界面结合的长期稳定性。科研人员通过监测试验过程中器件电学性能的变化，分析键合工艺对器件寿命的影响。在针对 IGZO 薄膜晶体管的测试中，经过优化的键合工艺使器件在高温高湿环境下的性能衰减速率有所降低，显示出较好的可靠性。这些数据不仅验证了键合工艺的实用性，也为进一步优化工艺参数提供了方向，体现了研究所对技术细节的严谨把控。
该研究所在晶圆键合与外延生长的协同工艺上进行探索，分析两种工艺的先后顺序对材料性能的影响。团队对比了先键合后外延与先外延后键合两种方案，通过材料表征平台分析外延层的晶体质量与界面特性。实验发现，在特定第三代半导体材料的制备中，先键合后外延的方式能更好地控制外延层的缺陷密度，而先外延后键合则在工艺灵活性上更具优势。这些发现为根据不同器件需求选择合适的工艺路线提供了依据，相关数据已应用于多个科研项目中，提升了半导体材料制备的工艺优化效率。晶圆键合在3D-IC领域实现亚微米级互连与系统级能效优化。
该研究所将晶圆键合技术与半导体材料回收再利用的需求相结合，探索其在晶圆减薄与剥离工艺中的应用。在实验中，通过键合技术将待处理晶圆与临时衬底结合，为后续的减薄过程提供支撑，处理完成后再通过特定工艺实现两者的分离。这种方法能有效减少晶圆在减薄过程中的破损率，提高材料的利用率。目前，在 2-6 英寸晶圆的处理中，该技术已展现出较好的适用性，材料回收利用率较传统方法有一定提升。这些研究为半导体产业的绿色制造提供了技术支持，也拓展了晶圆键合技术的应用领域。
晶圆键合助力空间太阳能电站实现轻量化高功率阵列。重庆表面活化晶圆键合服务
晶圆键合推动无创脑血流监测芯片的光声功能协同集成。江苏临时晶圆键合实验室
广东省科学院半导体研究所依托其材料外延与微纳加工平台，在晶圆键合技术研究中持续探索。针对第三代氮化物半导体材料的特性，科研团队着重分析不同键合温度对 2-6 英寸晶圆界面结合强度的影响。通过调节压力参数与表面预处理方式，观察键合界面的微观结构变化，目前已在中试规模下实现较为稳定的键合效果。研究所利用设备总值逾亿元的科研平台，结合材料分析仪器，对键合后的晶圆进行界面应力测试，为优化工艺提供数据支持。在省级重点项目支持下，团队正尝试将该技术与外延生长工艺结合，探索提升半导体器件性能的新路径，相关研究成果已为后续应用奠定基础。江苏临时晶圆键合实验室
