广东六轴光学检测

半导体行业是光学检测技术应用较前沿、要求较高的领域之一。从晶圆制造过程中的光刻对准、薄膜厚度测量、缺陷检测，到封装环节的引脚检测、键合质量检测、芯片外观检测，几乎每一个生产环节都离不开高精度光学检测技术。随着半导体工艺节点不断推进，对检测精度的要求也从微米级提升到纳米级，这对检测系统中的运动平台提出了较高的要求，不只需要纳米级的定位精度，还需要具备较高的运动平稳性和洁净度适配能力。博源精控的直驱气浮滑台系列采用无接触气浮导轨设计，运行过程中无粉尘产生，良好适配半导体制造的洁净室环境，纳米级的定位精度能够满足先进制程晶圆检测的需求，已经为多家半导体检测设备厂商提供了关键运动平台解决方案。S曲线加减速算法可减少运动冲击振动，保证高速运动过程中的成像清晰度。广东六轴光学检测

光学检测中的光源控制与运动控制的同步是保证成像质量的重要环节，在高速检测过程中，相机曝光时间非常短，如果光源点亮和相机曝光、运动位置不同步，就会出现图像亮度不均、运动模糊、位置不准等问题。高精度光学检测系统通常采用硬件触发的方式，由运动控制器在到达指定位置时输出硬触发信号，同步触发相机曝光和光源点亮，整个过程的时间延迟控制在微秒级。博源精控的运动控制器具备高速位置比较输出功能，能够在运动过程中实时比较位置，在预设位置精确输出触发信号，触发抖动小于1微秒，能够保证相机、光源、运动三者的精确同步，即使在每秒上百帧的高速采集状态下，也能保证每一幅图像都在准确的位置、合适的光照下采集。东莞三维光学检测厂家激光三角测量法可实现工件三维形貌检测，获取表面高度差与平面度数据。

高精度位置反馈是光学检测运动平台实现高精度定位的关键，普通的步进电机或者伺服电机依靠编码器进行位置反馈，属于半闭环控制，无法补偿传动环节的误差和热变形误差，而高精度光栅尺直接测量运动平台的实际位置，实现全闭环控制，能够消除传动误差，大幅提升定位精度。博源精控的所有高精度直驱位移台均采用高精度线性光栅尺作为位置反馈元件，光栅尺分辨率可达1nm甚至更高，配合全闭环伺服控制算法，能够实现纳米级的定位分辨率和亚微米级的定位精度，即使长时间运行或者温度变化的情况下，也能保持稳定的位置精度，为光学检测提供准确可靠的位置基准。

光学检测系统的精度校准是保证检测结果准确可靠的必要环节，任何光学检测设备在投入使用前和使用过程中都需要定期进行精度校准，确保检测数据的量值溯源准确。精度校准通常需要使用更高精度的参考标准器，比如激光干涉仪、标准块、标准缺陷样片等，配合高精度的运动平台成全行程的精度校准。博源精控的所有位移台产品在出厂前都会使用激光干涉仪进行全行程精度校准，提供完整的精度检测报告，同时也可为客户提供检测系统运动平台的现场校准服务，帮助客户保证光学检测设备长期运行的精度稳定性，避免因为运动平台精度下降导致检测结果失准。视觉定位系统可引导运动平台自动修正位置偏差，实现工件的准确对位检测。

在线光学检测是现代智能制造生产线的关键组成部分，与实验室离线检测不同，在线检测需要与生产线节拍完全匹配，24小时连续稳定运行，对设备的可靠性、稳定性、维护性提出了较高要求。在线检测的运动平台需要具备较高的平均无故障时间，能够在工业车间的恶劣环境下长期稳定运行，同时还要具备快速维护、快速更换的设计。博源精控的工业级直驱运动平台采用高可靠性设计，关键部件均选用工业级长寿命产品，IP防护等级可根据需求定制，能够适应车间的粉尘、油污、温湿度变化等环境，7×24小时连续运行稳定可靠，已经在多条新能源、3C、汽车制造产线的在线检测工位得到了批量应用。光学检测系统支持与生产线对接，可实现生产过程的在线全检，减少不良品流出。广东六轴光学检测

光学检测设备出厂前经过激光干涉仪校准，可保证全行程内的定位精度准确。广东六轴光学检测

在显示面板的AOI自动光学检测中，Mura缺陷是检测的重点和难点，Mura缺陷是指面板显示亮度不均匀的缺陷，通常对比度很低，人眼难以识别但会影响显示效果。Mura检测对成像的均匀性和运动的稳定性要求较高，微小的振动或者速度波动都会导致亮度变化，产生类似Mura的伪缺陷，造成误检。博源精控的面板检测用龙门运动系统采用高刚性花岗岩结构，双直线电机同步驱动，运动过程平稳无振动，速度稳定性良好，配合高分辨率线阵相机，能够实现低对比度Mura缺陷的稳定检出，帮助面板厂商提升显示产品的出厂品质，降低不良品流出率。广东六轴光学检测

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