检漏仪在火电厂的应用：检漏仪先在质谱室中将采集的被测气体电离，再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测，从中检测出事先安排的示踪氦离子，主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。检漏仪内部配有一台旋片式真空泵，用以维持仪器内部的高真空。质谱室是检漏仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分，分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性，氦气的压缩比很小，可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离，氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极，产生一个正比于离子数量的电流信号，该信号经过放大和处理即为泄漏率。在坚固耐用方面的革新设计，使得全自动氦质谱检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。扬州便携式检漏仪
氦气检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法，检漏仪系统的检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确；5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。真空检漏设备使用中尽量将预置真空开关空挡可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。
检漏仪噪声是哪儿来的？高灵敏度检漏仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个就是本底噪声。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成，与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关，具体的包括：1、离子源发射电子流的不稳定性，加速电压、分析器电磁参数的不稳定性；2、氦气在真空系统内的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气），电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应（被污染的情况下更为严重）；3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性；4、检漏仪本身漏气和氦气的渗透；5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。
检漏仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。检漏仪检测开始时出现的故障：1、检漏键无效(绿色指示灯亮)，检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。2、检漏键无效(指示灯不亮)，I/O短接插头未插入检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。应定期更换氦质谱检漏仪的泵油，适时对机械泵加油。
检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。检漏仪可以根据各种检测仪器的日常操作模式和应用情况进行分析。扬州便携式检漏仪
不同氦质谱检漏仪都有特定的使用范围。扬州便携式检漏仪
检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中，当出现意外情况，系统突然暴露大气或真空度突然降低，导致大量的气体突然进入电离室，真空度≥1x10-1Pa时，灯丝电流急剧增大，灯丝被碳化，就发生了脆断现象。检漏仪灯丝寿命如何延长？由前面分析已知，造成检漏仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入有害气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。扬州便携式检漏仪
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