检漏仪的整体结构有哪些？电气系统，氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。辅助真空系统的配置，在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。氦质谱检漏仪可覆盖广大的应用领域。浙江智能检漏仪价格
我们应该如何选择氦质谱仪呢？仪器的灵敏度可满足检漏检测要求。国内、国外制作的不同型号检漏仪的灵敏度都不一样，如果要求检漏灵敏度比较高，要认真选择。被检件若怕油污，应选用无油真空系统检漏仪。被检件的体积如较大，必须选择预抽泵抽速大的检漏仪，否则就加预抽泵。若检测对象不固定，体积大时小，灵敏度要求高时低，就需要选择功能较全、灵敏度更高、检漏范围广的检漏仪。若检漏点不固定，需经常搬运仪器，应选用小型便携仪器。在满足上述检漏基本要求的基础上，还应考虑仪器的价格是否低、操作是否简便、维护方便等问题。浙江智能检漏仪价格检漏仪中使用防返油阀主要是防止机械泵中的油。
如何正确使用氦气检漏仪？ 1.为了正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将只释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。2.氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大幅影响检漏结果。3.在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。
检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。镀膜设备氨质谱检漏，1.将氨质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。8.较后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低。
检漏仪的应用特点：(1)便携式：各国推出的小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。(5)检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。氦质谱检漏仪及接线端子不要放置在易遭受碰撞或易进水处。温州气密性检漏机
氦质谱检漏仪应安装在符合仪器使用的环境要求的场所。浙江智能检漏仪价格
检漏仪检漏时出现的故障：1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大幅减少了环境的氦污染。浙江智能检漏仪价格
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