纳米级超精密抛光

精密、超精密加工技术是提高机电产品性能、质量、工作寿命和可靠性，以及节材节能的重要途径。如：提高汽缸和活塞的加工精度，就可提高汽车发动机的效率和马力，减少油耗；提高滚动轴承的滚动体和滚道的加工精度，就可提高轴承的转速，减少振动和噪声；提高磁盘加工的平面度，从而减少它与磁头间的间隙，就可提高磁盘的存储量；提高半导体器件的刻线精度（减少线宽，增加密度）就可提高微电子芯片的集成度。工业发达国家的一般工厂已能稳定掌握3 μm的加工精度（我国为5 μm）。同此，通常称低于此值的加工为普通精度加工，而高于此值的加工则称之为高精度加工。超精密飞秒激光技术是一种高精度、非接触、非热效应的加工方法，适用于各种材料的微细加工。纳米级超精密抛光

精密零件的加工生产离不开精密切削技术，半导体/LCD、MLCC、二次电池等领域尤其使用精密零件。一般磨削技术的问题是，磨削后要根据叶轮磨损量继续进行修整，修整后叶轮表面会发生细微变化，因此很难保持相同的质量。相反，ELID研磨技术可以解决这些问题，因为无需研磨即可连续工作。微泰的ELID（在线砂轮修正）技术和经验为基础，实现高精度的切削加工技术，由此生产的产品具有一般难以生产的高精度平坦度和质量。提高真空板（VACUUM板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，减少研磨时的Burr，无需手动调整可以连续稳定作业。刀片可以做到，材料：碳化钨、氧化锆等。刀片厚度（t1）：100㎛叶片。边缘厚度（t2）：低于0.2㎛。刀刃线性度：低于5㎛。刀刃对称性：低于3㎛。刀片边缘粗糙度：Ra0.02㎛。角度（θ）精度：±0.3°半导体超精密钻孔一旦产品图纸形成后，马上可以进行超精密激光加工，你可以很快得到新产品的实物。

精密磨削技术-电解在线砂轮修整技术(ELID)对于精密零件的加工生产，精密磨削技术是必不可少的。在半导体/LCD、MLCC和新能源电池等领域中，精密元件的使用率很高。常见的磨削技术的问题是，必须根据磨削后的弓形磨损量继续修整，这给保持同等质量带来了困难，因为表面状况会发生细微变化。简而言之，ELID磨削技术是一种在不断修整的同时进行抛光的技术。微泰采用了高精度的磨削技术，这些技术都以ELID技术和专有技术为基础，在这种技术中，我们生产的产品具有高精度、平坦度和高质量，这是很难生产的。真空板ELID磨削技术ELID磨削技术（真空板）。利用电解在线砂轮修整技术(ELID)，提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度，减少研磨时的毛刺，减少手动调节提高作业自动化。400mm见方的真空板平面度可达5um。

微泰凭借30年的精密加工技术和锐利刀具的边缘技术，利用激光的微孔加工技术，生产了客户所需的各种产品。除了零件，我们还生产和供应需要装配的部件。与液晶面板（LCD）这样的大尺寸元件相比，微泰更倾向于半导体/MLCC/新能源电池等更小、更精密的领域，并且在尚未成功国产化的元件的国产化方面也取得了很大成就。从塑料树脂系列开始，我们生产和供应的材料几乎与客户提供的所有图纸相符，包括不锈钢、碳化钨、陶瓷和MMC材料，没有限制。应用于多个部件其他半导体/高水平平面度的金属板、由微孔构成的金属板、超精密加工件、多数部件组成的设备配件、组装件、半导体/MLCC/电池行业所需超精密元件。真空卡盘，晶圆卡盘、模组组装治具。倒装芯片键合TOOL。不改变基材成分的激光超精密加工应用有激光淬火(相变硬化)、激光清洗、激光冲击硬化和激光极化等。

超精密加工为了提升工艺的精细度，超精密加工会使用到高精度位置感测器(displacementsensor)、高阶CNC(computernumericalcontrol)控制器等进阶设备。由于精度高的缘故，常应用在光学元件，如：雷射干涉系统、光碟机的读取透镜、影印机与印表机用的fq镜面、数位相机或手机相机的光学镜头等；也会应用在机械工业如：电脑硬碟、光纤固定与连接装置、高精度射出或模造用模具…等。此外，航空及航海工业中导航仪器上特殊精密零件、雷射仪、光学仪器等也会运用超精密加工的技术。激光超精密加工的切割面光滑：激光切割的切割面无毛刺。PCD超精密覆膜贴合工具

激光超精密切割的加工特点是速度快，切口光滑平整，一般无需后续加工;切割热影响区小，板材变形小。纳米级超精密抛光

微泰，精湛的超精密加工技术，可达到微米级加工，充分考虑材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于3um零件精密加工的关键在于确保高水平的精度和质量，并确保与既定尺寸的偏差小实现。精密加工的半导体晶圆真空卡盘的平面度公差不超过3μm，并通过三维接触测量仪进行全数检查和系统质量的管材，为全球客户提供精密加工。铝（AL5052、AL6061、AL7075）、不锈钢（SUS304、SUS316、SUS630）。铜、钨、钛和蒙奈尔合金（MONEL）。处理聚醚醚酮(PEEK)、聚甲醛(POM)和聚酰亚胺(PI)等材料，需要精密加工。使用高难度材料，如无氧高导铜(OFHC)制造半导体精密零件。纳米级超精密抛光