超精密半导体流量阀

精密激光打孔是激光微加工重要的一方面，其应用范围很广，包括金属钻孔，陶瓷钻孔，半导体材料钻孔，玻璃钻孔，柔性材料钻孔等等，尤其是针对一些坚硬易碎或者弹性较大的材料，如西林瓶打孔、安瓿瓶打孔、输液袋打孔等气密性检测相关，陶瓷，蓝宝石，薄膜等优势尤为明显。目前弘远激光智能科技有限公司能够实现高深径比的精密钻孔，高效密集钻孔，比如安瓿瓶、西林瓶打微米孔，打裂纹，输液袋打微米孔、医用雾化片打孔等等。超精密激光打孔因为其材料特殊，用以往的打孔机械如果掌握不好，打出来的孔会出现扁孔、多边孔等不圆的情况，而且打出来的孔不光滑孔口毛边很大，有的还需要进行二次加工才能使用。而且机械打孔目前不能实现微米级别打孔，随着人们对打孔工艺的要求越来越精细，其传统的机械加工方法已不能满足各种打孔加工速度、质量、深径比等要求。特别是薄铝板的打孔与切割，其要求更是越来越高，而激光打孔可以满足许多加工的特殊要求。当精密加工已无法达到更好的形状精度、表面粗糙度与尺寸精度时，就会需要使用到超精密加工的技术。超精密半导体流量阀

微泰，采用先进的飞秒激光的高速螺旋钻削自主技术，进行产业所需的各种形状的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。还可以进行MAX10度角的倒锥孔和各种几何形状的微孔，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。微泰，利用飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。四百四十毫米平面方板，平坦度可以做到5微米以下，表面粗糙度RA达0.1微米以下，可以钻5微米的孔，圆度可以达到95%以上，可以加工不同形状和尺寸的微孔。可以加工多种材料，包括PCD、PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼，我们专注于生产需要高难度、高公叉和高几何公叉的产品，并以30年的磨削技术、成型技术、钻孔技术和激光技术为后盾，解决客户的难题，力求客户满意。有问题请联系微加工超精密超精细超精密加工技术能辅助的产业很广，机械、汽车、半导体，只要想提升产品的精致度，就需仰赖精密加工的辅助。

通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。目前，精密加工是指加工精度为10~0.1µm，表面粗糙度为Ra0.1~0.01µm，公差等级在IT5以上的加工技术。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一个相对概念，其间的界限将随着加工技术的进步不断变化，现在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字样被缓慢地往下压进底部，变成平滑表面看似现代科技的超精密加工，其实在上个世纪早已出现超精密加工的发展经历了如下三个阶段：（1）20世纪50年代至80年代为技术开创期出于航天、大规模集成电路、激光等技术发展的需要，美国率先发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技术，又称为“微英寸技术”，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。（2）20世纪80年代至90年代为民间工业应用初期在相关机构的支持下，美国的摩尔公司、普瑞泰克公司开始超精密加工设备的商品化，而日本的东芝和日立以及欧洲Cranfield大学等也陆续推出产品，并开始用于民间工业光学组件的制造。但当时的超精密加工设备依然高贵而稀少，主要以特殊机的形式订作。

微泰，生产各种用于MLCC和半导体的精密真空板。工业真空盘由于其吸气孔较大，会对被吸物造成伤害，因此精密真空板的需求越来越大。薄膜等薄片型产品，如果孔较大，可能会造成产品损伤或压花。因此市场需求超精密多微孔真空板。微泰生产并为工业领域提供高精度真空板，这些板由Φ0.1到Φ0.03的微孔组成。半导体行业普遍使用陶瓷真空板，但由于其颗粒大，很难控制平面度及均匀的压力。客户对真空板的重要性日益凸显。其尺寸各不相同，均匀压力管理有所不同。但根据客户的需求，我们生产并提供了质量优、性能优的真空板，并提供平面度0.001um和Φ0.03um的真空板（吸膜板，吸附板）。微泰产品应用于半导体用真空卡盘、薄膜吸膜板，吸附板，倒装芯片键合真空块、MLCC堆叠VacuumPlate、MLCC印刷吸膜板。透过超精密加工产生出来的零件精细度高，不仅能提升产品的品质与耐用度，还能达到客制化的效果。

微泰半导体流量计精密元件半导体流量计的精密组件，可精确测量半导体制造过程中使用的各种气体和液体的流量，并提供实时数据来严格控制该过程。由主体（Body）、叶片(impeller)、钨轴和钎焊轴组成。铝、不锈钢（SUS304、SUS316）、聚甲醛（POM）、可采用聚醚醚酮(PEEK)材料加工，提供1/2"、3/4"、1"、11/4"尺寸。模组型产品尺寸：1/2英寸、9/4英寸、1英寸、11/4英寸材料:AL6061,SUS304,SUS316,POM,PEEK零件包括：主体、叶片、钨轴和钎焊轴。半导体流量计适用于半导体设备的流量计，具有高精度的流量检测功能，能够承受从低到高的温度变化，并能将传感器和转换器等部件降到比较低，从而提高空间利用率。一旦产品图纸形成后，马上可以进行超精密激光加工，你可以很快得到新产品的实物。飞秒激光超精密抛光

激光的应用已从大尺寸的粗糙加工，慢慢扩展到小尺寸、高精度的领域。超精密半导体流量阀

随着电子和半导体产业的快速发展和生物、医疗产业等对超精密的需求，越来越需要能够加工数微米大小目标物的超精密加工技术。激光微加工是指利用激光束的高能量，在不对要加工的材料造成热损伤的情况下，通过瞬间熔融和蒸发材料，以数微米至数纳米颗粒的大小对材料进行切割、钻孔等加工。通常，微加工使用皮秒或纳秒激光和超短脉冲激光，其波长非常短或脉冲宽度非常短。超短脉冲激光，包括Excimer激光，广泛应用于眼科、玻璃和塑料的精密加工、精密零件的制造、地球科学和天体研究以及光谱和FBG工艺。据悉，用于微细加工的大部分激光都具有极高的脉冲能量和尖头输出功率和能量密度，因此无法通过光缆传输激光-光束，而且与能够稳定传输激光-光束的镜片、镜片等光学装置一起精密处理要加工材料的技术也很重要。微加工技术广泛应用于超精密零件的加工、半导体领域和医疗、生物领域等，主要应用于玻璃切割、Ceramic切割或钻孔以及半导体晶片切割。微泰利用飞秒激光钻削技术可加工HoleSizeMIN5微米微孔，孔间距可加工到3微米，用于MLCC叠层吸膜板，吸膜板MAX可加工80万微孔。可加工各种形状的孔，同一位置内加工不规则的孔，可进行不规则的混合孔超精密半导体流量阀