半导体超精密晶圆卡盘

微泰，采用先进的飞秒激光的高速螺旋钻削自主技术，进行产业所需的各种形状的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。还可以进行MAX10度角的倒锥孔和各种几何形状的微孔，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。微泰，利用飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。四百四十毫米平面方板，平坦度可以做到5微米以下，表面粗糙度RA达0.1微米以下，可以钻5微米的孔，圆度可以达到95%以上，可以加工不同形状和尺寸的微孔。可以加工多种材料，包括 PCD、 PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼，我们专注于生产需要高难度、高公叉和高几何公叉的产品，并以 30 年的磨削技术、成型技术、钻孔技术和激光技术为后盾，解决客户的难题，力求客户满意。有问题请联系超精密激光加工属于非接触加工，不会对材料造成机械挤压或应力。热影响区和变形很小，能加工微小的零部件。半导体超精密晶圆卡盘

微泰利用激光制造和提供超精密产品。 凭借高效率、高质量的专有加工技术，我们专门用于加工 Φ0.2 度以下的超精密微孔，并采用了Φ0.005 mm 激光钻孔技术，使用飞秒激光器。 此外，我们还在不断地开发技术，以提供更小的微米级孔。激光加工不同于常规的 MCT 钻孔加工，在热处理后，孔的加工容易，因此即使在极强度/高硬度或热处理过的产品中，也能够获得恒定质量的孔，如 PCD、PCBN 和 Cerama。 我可以用多种材料制成，包括硬质合金、不锈钢、热处理钢和钼。营业于半导体真空卡盘、吸膜板、COF绑定TOOL，倒装芯片键合、MLCC叠层吸膜板，MLCC印刷吸膜板，吸附板。微米级超精密覆膜贴合工具超精密激光切割技术已经被应用于精密电子、装饰、模具、手机数码、钣金和五金等行业。

微泰，采用先进的飞秒激光的高速螺旋钻削自主技术，进行半导体产业所需的各种形状的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。还可以进行MAX10度角的倒锥孔和各种几何形状的微孔，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。MLCC 层压的真空板相同区域内可加工不规则位置的孔；可以混合加工不规则尺寸，孔间距可达 0.3 μm ；可加工多达 800,000 个孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC叠层吸膜板，吸附板。

微泰，经验丰富的工程师团队在制造高精度零件方面拥有精湛的专业技能，并以精密的精密加工技术、严格的公差、复杂的设计图纸分析和周到的加工策略，生产出满足客户期望的精密较好零件。 它还能准确、快速地应对生产过程中可能出现的意外问题，并对新技术和新材料的不断学习和前沿技术信息进行持续投资。微泰，拥有高精度的三维接触测量仪和各种精密测量设备，生产精密零件和模型组装产品，以准确反映客户的需求，并通过建立系统的质量控制和检测系统，将质量作为管理的首要任务。超精密加工可以满足客户的需求。 我们先进的精密加工技术可加工难于加工的材料，可帮助提高产品性能，同时提供针对不同客户需求的优化产品，包括降低成本和极短的交货期。微泰在精密零件制造和模组装配方面具有高水平的专业知识和高质量。 我们重视与客户的开放沟通和合作，并通过共同努力，保持持续发展的强大合作伙伴关系。通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。

微泰拥有 30 多年的技术和专业知识，生产了各种刀具和刀片。切割加工（包括 MLCC 和薄膜、新能源电池等）所需的切割加工需要超精密的切割加工，需要超精密的切割加工、切割边缘的角度管理以及良好的材料管理，以防止被切割产品造成损坏。 刀具通常有刀片、刀具、轮刀等多种名称，而刀刃的管理是刀具的关键技术。 为此，wei't提供了一系列值得信赖、可靠的高精度、高质量和长寿命刀具。用于 MLCC 生产流程的精密刀片，立式刀片切割刀片（双级刀片）。刀轮：原材料：碳化钨。应用：用于MLCC制造时切割陶瓷和电极片。·同心度（通常小于 10 微米）  小于 10 微米 · 刀锋直线度小于 3 微米， 小于 3 微米的切割边缘上的直度和平行性。刀片三星电子用于手机镜头浇口切割。激光超精密打孔是将光斑直径缩小到微米级，从而获得高的激光功率密度，几乎可以在任何材料实行激光打孔。半导体超精密晶圆卡盘

超快激光采用的超短脉冲激光是利用场效应进行加工，不仅可以达到更高的精度，并且不会对材料表面造成损伤。半导体超精密晶圆卡盘

现有物理打磨技术,接触式加工,磨损基石，需要切削油, 加工后需要清洗，异形件打磨和局部打磨有难度。纳秒激光打磨有以下问题：产生细微裂纹，熔化-再凝固产生热变形， 表面物性发生变化， 周围会产生多个颗粒。飞秒激光打磨：改善现有打磨技术的问题 -热影响极小，可以局部打磨，异形件打磨，不需要化学药剂  -细微裂纹极少化  表面物理特性变化少，在不改变物性值的情况下，提高表面粗糙度。 高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起  中等功率，利用中等功率激光可以刻画  低功率时具有，清洗效果；抛光效果（也有去除微孔边缘毛刺的效果） 抛光后，[A O I（自动光学检查）]  对孔不良进行检测（手动或自动） （光学相机扫描仪）材料的边缘测量和修正材料位置误差。非常适合异形件打磨、抛光。局部打磨抛光。半导体超精密晶圆卡盘