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硅片切割加工过程中为了降低机械应力、热应力,保障线切割过程成为稳定的过程,需要加入大量的切割液,在加工过程中会产生大量的副产物。这种副产物的主要成分为大量有机物(即切割液的主要成分:乙二醇、多乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂的混合液),以及在使用该切割液时添加在其中的碳化硅(该碳化硅用作切割液的磨料),和在切割过程中产生的多晶硅(或单晶硅)颗粒。硅片切割加工副产物若处理不当,不仅会产生严重的环境污染,而且浪费了大量的资源。随着国家节能降耗,保护环境政策的实施,从硅片切割加工副产物中回收经济价值较高的碳化硅,可回用于硅片的切割加工过程,也可以用于商品碳化硅使用场合。哪家硅片回收的质量比较好。废硅片回收厂家

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产商必须平衡这些相关的因素使生产力达到比较大化。更高的切割速度和更大的荷载将会加大切割切割线的拉力,增加切割线断裂的风险。由于同一硅块上所有硅片是同时被切割的,只要有一条切割线断裂,所有部分切割的硅片都不得不丢弃。然而,使用更粗更牢固的切割线也并不可取,这会减少每次切割所生产的硅片数量,并增加硅原料的消耗量。硅片厚度也是影响生产力的一个因素,因为它关系到每个硅块所生产出的硅片数量。超薄的硅片给线锯技术提出了额外的挑战,因为其生产过程要困难得多。除了硅片的机械脆性以外,如果线锯工艺没有精密控制,细微的裂纹和弯曲都会对产品良率产生负面影响。超薄硅片线锯系统必须可以对工艺线性、切割线速度和压力、以及切割冷却液进行精密控制。

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