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硅片切割加工过程中为了降低机械应力、热应力,保障线切割过程成为稳定的过程,需要加入大量的切割液,在加工过程中会产生大量的副产物。这种副产物的主要成分为大量有机物(即切割液的主要成分:乙二醇、多乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂的混合液),以及在使用该切割液时添加在其中的碳化硅(该碳化硅用作切割液的磨料),和在切割过程中产生的多晶硅(或单晶硅)颗粒。硅片切割加工副产物若处理不当,不仅会产生严重的环境污染,而且浪费了大量的资源。随着国家节能降耗,保护环境政策的实施,从硅片切割加工副产物中回收经济价值较高的碳化硅,可回用于硅片的切割加工过程,也可以用于商品碳化硅使用场合。

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在硅片切割工艺中我们需要面对多项挑战,主要聚焦于线锯的生产力,也就是单位时间内生产的硅片数量。生产力取决于以下几个因素:1)切割线直径–更细的切割线意味着更低的截口损失,也就是说同一个硅块可以生产更多的硅片。然而,切割线更细更容易断裂。2)荷载–每次切割的总面积,等于硅片面积X每次切割的硅块数量X每个硅块所切割成的硅片数量。3)切割速度–切割台通过切割线切割网的速度,这在很大程度上取决于切割线运动速度,马达功率和切割线拉力。4)易于维护性–线锯在切割之间需要更换切割线和研磨浆,维护的速度越快,总体的生产力就越高。为了减少硅片的发射光,在比较上层需涂一层氮化硅的减反射层。工业园区ic硅片回收厂家

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