晶圆片多片式机械手能否用于蓝宝石衬底？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-07-02

蓝宝石衬底硬度较高且表面光滑，对吸附要求与硅晶圆有所不同。可能需要选用摩擦系数稍大的吸嘴材质，并适当调整吸附压力。由于蓝宝石衬底重量与硅晶圆可能存在差异，建议单独设定搬运参数。

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