设备如何记录掩膜版的搬运历史？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-25

机械手控制系统可记录每次搬运操作的详细信息，包括掩膜版识别码、搬运时间、起始位置和目标位置、搬运过程中是否有异常等。这些数据存储在设备本地存储器中，用户可通过操作界面查询或导出。对于具备联网功能的设备，搬运历史可上传至制造执行系统，实现全流程追溯。搬运历史记录有助于分析掩膜版的使用频率、统计设备运行效率以及在出现质量问题时追踪掩膜版的流转路径。

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