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德国真空泵在MOCVD工艺中怎么用？

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深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-13

金属有机物化学气相沉积需要无油且耐氨的真空环境。滨海真空为MOCVD设备配套德国贝克干式螺杆罗茨机组，抽除反应残余的氨气和有机金属化合物，泵腔无油，避免碳污染外延层。某LED芯片厂使用后，外延片波长均匀性提升，德国真空泵维保周期延长。

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