德国真空泵在OLED蒸镀中怎么保证洁净？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-12

OLED有机蒸镀对水氧和碳氢污染敏感。滨海真空为蒸镀设备配套德国贝克干式螺杆泵和分子泵机组，极限真空达10⁻⁶ Pa，全无油设计防止有机材料污染。某OLED中试线使用后，器件发光效率和寿命达到设计指标。我们在德国真空泵前设冷阱和残余气体分析接口。

本回答由 深圳市滨海真空技术有限公司 提供

深圳市滨海真空技术有限公司

简介：专注于真空设备的技术开发、销售及咨询，提供机械设备安装服务，涉及货物和技术进出口。

简介：专注于真空设备的技术开发、销售及咨询，提供机械设备安装服务，涉及货物和技术进出口。

类似问题

企业信息

深圳市滨海真空技术有限公司

联系人：关小兵

手机： 4001541249

地址：

广东省深圳市龙华区深圳市龙华区大浪街道龙平社区鹏华香域花园5栋商业219