水浸超声扫描显微镜的检测深度有限制吗？

杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-06-06

有的。检测深度受超声波频率和材料衰减系数共同限制。低频（如 20~50MHz）可穿透数十毫米甚至更深，但分辨率低（~50μm）；高频（如 500MHz~2GHz）分辨率高（亚微米级），穿透深度大多在几百微米到几毫米。对于半导体封装（通常厚度 < 1mm），500MHz 已足够；对于较厚的复合材料或金属件，需降低频率以增加穿透深度。

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