水浸超声扫描显微镜能检测玻璃基板吗？

杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-06-11

可以。玻璃基板（如TGV玻璃通孔基板）是先进封装中的新兴材料，水浸超声扫描显微镜对其检测效果良好。玻璃与金属导体之间声阻抗差异大，分层和脱粘缺陷对比度高。使用230~500MHz探头可以检测玻璃基板内部的通孔填充质量、层间分层、导体层下方的空洞等。由于玻璃的声衰减较低，穿透深度较大，甚至可以使用较高频率获得更好的分辨率。

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杭州芯纪源半导体设备有限公司 2026-06-13

玻璃基板是半导体先进封装的热点材料，水浸超声扫描显微镜在此领域有独特优势。与硅基板相比，玻璃基板的声衰减更低，超声穿透更深；与有机基板相比，玻璃与铜之间的声阻抗差异更大，界面缺陷更易检出。能检测的缺陷包括：TGV通孔的填充率、玻璃-金属界面的分层、再分布层（RDL）下方的空洞等。在面板级封装和2.5D封装中，该设备已成为玻璃基板检测的标配。

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杭州芯纪源半导体设备有限公司 2026-06-17

玻璃基板检测是该设备的新增长点。随着面板级封装和玻璃芯（glass core）技术的发展，对玻璃基板内部质量的检测需求快速增长。水浸超声扫描显微镜在这方面有天然优势——玻璃材料声衰减小、与金属声阻抗差异大，检测灵敏度高。建议使用230~500MHz探头，根据基板厚度选择频率：薄板用高频，厚板用低频。

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