深圳市鸿远辉科技有限公司2026-07-15
深圳市鸿远辉科技有限公司会按腔体容积与晶圆尺寸来定氮气流量。流量过小隔绝不充分,过大易扰动工件。一般小腔体解胶机用较低流量即可,大腔体或敏感晶圆适当提高。我们会在调试时实测氧含量与温度,把流量调到合适区间,并写入设备参数,让您后续一键调用、稳定复现。
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