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德国真空泵在PECVD工艺中怎么用？

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深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-13

等离子体增强化学气相沉积产生硅烷、氨气等腐蚀性副产物粉尘。滨海真空配套的德国贝克干式螺杆罗茨泵，过流部件耐腐蚀，泵前设加热过滤和颗粒捕集。某光伏电池厂使用后，薄膜沉积均匀，德国真空泵维护周期延长至6个月以上。配备氮气吹扫和气镇保护。

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