半导体晶圆传输用什么陶瓷机械臂？

江苏三责新材料科技股份有限公司2026-07-18

半导体晶圆传输作业中，碳化硅材质机械手臂是准确耐用的主要传输配件。碳化硅机械手臂采用高精度成型与高温烧结工艺打造，比刚度高、重量轻、低热膨胀，长期往复运动不易变形，表面光洁无颗粒脱落，不会划伤污染晶圆。材质无磁性、抗静电，耐等离子腐蚀与高温环境，适配半导体多制程的无尘严苛环境。江苏三责新材料科技股份有限公司可定制不同尺寸与结构的碳化硅机械手臂，加工精度严格，运行稳定性强，多用于各类半导体晶圆传输设备，保障制程流转顺畅。

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