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干式螺杆泵在金刚石晶圆MPCVD中如何？

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深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-29

微波等离子体化学气相沉积生长金刚石晶圆需要10⁻³ Pa以上洁净真空。滨海真空以干式螺杆泵为分子泵前级，全无油避免碳污染。某金刚石晶圆厂使用后生长速率稳定，晶体质量优良。我们在泵前设氢气过滤。

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