干式螺杆真空泵在电子洁净室有什么优势？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-27

滨海真空为电子洁净室配套的干式螺杆真空泵，运行时泵腔内无油，排气中不含油雾，配合高效排气过滤可将0.01微米以上颗粒滤除，满足洁净室粒子控制要求。泵采用非接触转子，无磨损粉尘产生，振动值可控制在1.8 mm/s以下。某晶圆厂使用后，洁净室粒子计数明显下降。我们还可提供去离子水清洗和防静电涂层处理，并提供通信接口与上位机联动，方便实现远程监控。该泵已成为半导体封装和测试工序的常用配置。

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