水浸超声扫描显微镜能检测金属内部缺陷吗？

杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-06-05

可以，但有局限性。对于金属件，水浸 SAM 能有效检测：①铸造缺陷 —— 缩孔、气孔、夹杂；②焊接缺陷 —— 焊缝中的气孔、未熔合、裂纹；③疲劳裂纹 —— 表面及近表面裂纹。但对于致密均匀金属中的微小缺陷（如晶粒级缺陷），由于金属声衰减低但声阻抗差异小，检测灵敏度不如对复合材料或含空气缺陷的样品。通常使用较低频率（10~50MHz）以获得足够穿透深度。

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