设备的通信接口支持哪些工厂自动化协议？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-11

设备通常配备以太网接口，支持SECS/GEM等半导体行业通信协议，便于接入工厂自动化系统。通过协议可上传设备状态、工艺数据，接收远程配方指令。用户可根据自身MES系统要求选择协议版本，实现数据互联。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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