设备在运行过程中突然断电会怎样？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-11

断电后设备停止动作，腔室门保持当前状态。为防止晶圆损坏，设备设计有断电保护逻辑，恢复供电后需人工检查晶圆位置与腔室内液体残留。操作手册会说明断电后的恢复步骤，用户需按要求执行避免安全事故。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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