该设备能否用于MEMS器件清洗？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-22

可以。MEMS器件具有微小的可动结构和脆弱的敏感区域，对清洗工艺的温和性要求较高。兆声波的温和空化效应和声流作用，能够有效去除器件表面的颗粒和残留物，同时降低对微结构的损伤风险。酸槽和碱槽的分步设计，可以针对性地去除工艺中引入的有机残留和金属污染物。但不同MEMS器件的材料和结构差异较大，建议在实际使用前进行工艺验证，确认合适的清洗参数。

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